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(a) 실리콘 산화물층(buried oxide layer)을 포함하는 실리콘 웨이퍼 기판의 상측 일면에 복수 개의 압전 저항층(piezoresistor layer)을 형성시키는 단계;(b) 상기 단계 (a)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판에 상기 압전 저항층의 일부를 노출시키고 질화실리콘 패시배이션층(Si3N4 passivation layer)을 형성시키는 단계;(c) 상기 단계 (b)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판의 상기 압전 저항층이 노출된 부위를 중도핑(heavily doped)하여 상기 압전 저항층에 중도핑 영역을 형성시키는 단계;(d) 상기 단계 (c)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판상에 복수 개의 제1 전극층을 형성시키는 단계;(e) 상기 단계 (d)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판의 상기 제1 전극층 상부 및 상기 압전 저항층 일부 영역에 이산화규소 절연체층(SiO2 insulator layer)을 형성시키는 단계;(f) 상기 단계 (e)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판의 상기 제1 전극층 상에 제2 전극층을 형성시키는 단계; (g) 상기 단계 (f)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판에 포토리소그래피(photolithography)방법으로 실리콘층을 패터닝하는 단계;(h) 상기 단계 (g)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판의 상기 압전 저항층, 제1 전극층 및 제2 전극층의 일부를 마이크로브릿지(microbridge) 형상으로 노출시키고, 실리콘 웨이퍼 기판에 홈을 형성시킬 수 있도록 후면층을 식각(backside etching)하는 단계; 및(i) 상기 단계 (h)에서 얻어진 실리콘 웨이퍼 기판의 상기 실리콘 산화물층(buried oxide layer)을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 압전 저항층은 보론(Boron, B)을 이온 도핑(Ion doping) 방법으로 형성시킨 것을 특징으로 하는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 질화실리콘 패시배이션층은 질화실리콘을 저압 화학기상증착(low pressure chemical vapor deposition, LPCVD) 방법으로 형성시킨 것을 특징으로 하는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 전극층은 전자빔 증착(E-beam evaporation) 방법으로 금(gold, Au)를 증착하여 형성시킨 것을 특징으로 하는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2 전극층은 은(Ag) 전극인 것을 특징으로 하는 하이브리드 수질 센서 칩 제조방법
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 수질 센서칩을 포함하여 이루어지는 중금속 센서부;상기 중금속 센서부의 전류 변화 및 전위차를 검출할 수 있는 검출부;중금속을 포함하는 액체를 상기 수질 센서 칩에 공급하였을 때, 상기 검출부에서 검출된 상기 전위차 및 전류 변화를 가공하여 데이터로 출력하는 제어부;상기 검출부 및 제어부에 전원을 인가하는 전원부; 및상기 중금속 센서부, 상기 검출부, 상기 제어부 및 상기 전원부를 내장하는 휴대용 케이스;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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제 6항에 있어서,상기 제어부는 상기 검출부에서 검출된 상기 중금속 센서부의 마이크로브릿지에 형성된 압전 저항의 저항 변화에 의한 전극의 전위차를 데이터로 출력하는 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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제 6항에 있어서,상기 제어부는 상기 검출부에서 검출된 상기 중금속 센서부의 작업 전극과 상대 전극 사이의 전류 변화를 데이터로 출력하는 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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제 6항에 있어서,상기 수질 검사 장치는 상기 제어부의 데이터를 영상화할 수 있고 외부에 별도로 설치된 디스플레이 장치에 표시하기 위해 상기 휴대용 케이스의 일측에 설치되는 외부 출력수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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제 9항에 있어서,상기 디스플레이 장치는 상기 외부 출력수단에 체결되어 상기 수질 검사 장치로부터 수신된 상기 제어부의 데이터를 무선 신호로 송출할 수 있는 신호 송신장치 및 상기 신호 송신장치로부터 수신된 무선 신호를 감지하여 영상화할 수 있는 수신 모니터링 장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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제 9항에 있어서,상기 디스플레이 장치는 상기 외부 출력수단에 체결되어 상기 제어부의 데이터를 감지하여 영상화할 수 있는 응용프로그램을 구비한 휴대용 단말기인 것을 특징으로 하는 휴대용 수질 검사 장치
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