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탄소나노튜브 분말 100 중량부에 대하여, 덱스트로오스 100~300 중량부, 시트르산 200~400 중량부 및 탄산암모늄 100~300 중량부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전농축기 모듈용 탄소나노튜브 폼
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브, 다중벽 탄소나노튜브, 이중벽 탄소나노튜브, 탄소나노혼 및 탄소나노섬유로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 전농축기 모듈용 탄소나노튜브 폼
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탄소나노튜브 분말 100 중량부에 덱스트로오스 100~300 중량부 및 시트르산 200~400 중량부를 혼합하여 제1 혼합물을 생성하는 단계;상기 제1 혼합물에 탄산암모늄 100~300 중량부를 혼합하여 제2 혼합물을 생성하는 단계; 상기 제2 혼합물을 110~150 ℃의 온도에서 3~7 시간 동안 가열하여 탄소나노튜브 폼 전구체를 생성하는 단계 및 상기 탄소나노튜브 폼 전구체를 400~500 ℃의 온도에서 2~4시간 동안 열분해하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전농축기 모듈용 탄소나노튜브 폼의 제조방법
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호기가스를 흡입하기 위한 마이크로 펌프; 가스 흡착에 의해 호기가스의 농도를 농축하기 위한 제1항 또는 제2항의 전농축기 모듈용 탄소나노튜브 폼을 포함하고 있는 마이크로 전농축기; 및흡착 또는 탈착가스의 방향을 제어하는 3방향 솔레노이드 밸브를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 전농축기 모듈
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제4항에 있어서,상기 마이크로 전농축기는 일면에 마이크로 히터가 형성된 전농축기 칩;상기 마이크로 히터가 형성된 면의 반대면 상부에 부착되어 가스 챔버영역을 형성하는 상판; 및상기 가스 챔버영역에 충진되는 전농축기 모듈용 탄소나노튜브 폼;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 전농축기 모듈
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제5항에 있어서,상기 전농축기 칩은 양면에 절연막이 도포된 기판의 일면에 식각에 의해 형성되는 가스 챔버영역;흡기구와 배출구를 가지도록 형성하며 상기 가스 챔버영역을 밀폐하는 상판; 및 상기 가스 챔버영역이 형성된 기판의 반대면에 형성되는 마이크로 히터;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 전농축기 모듈
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제6항에 있어서,상기 절연막은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막으로 형성되거나, 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막의 적층 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 전농축기 모듈
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제6항에 있어서,상기 마이크로 히터는 금(Au), 텅스텐(W), 백금(Pt) 및 팔라듐(Pd)으로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 마이크로 전농축기 모듈
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