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극대면적 균일가압장치

  • 기술번호 : KST2015201740
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 극대면적 균일가압장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 기판을 지지 및 고정하기 위한 기판 지지부를 포함하는 척 모듈(chuck module); 상기 척 모듈의 상부에 상기 기판과 소정 간격을 두고 구비되는 신축성 몰드; 상기 신축성 몰드를 고정하기 위한 몸체 모듈; 및 상기 신축성 몰드의 상부에 구비되는 가압 챔버로서, 상기 신축성 몰드와 마주하는 쪽의 면에 신축성 막이 구비되어 있는 가압 챔버를 포함하는 극대면적 균일가압장치에 관한 것이다. 본 발명의 극대면적 균일가압장치는 평판 표시장치 또는 태양전지 등과 같이 넓은 면적을 갖는 기판에 대하여서도 균일한 압력을 가하는 것이 가능한 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090037677 (2009.04.29)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0118795 (2010.11.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임시형 대한민국 서울특별시 성북구
2 최원호 대한민국 서울특별시 성북구
3 장시열 대한민국 서울특별시 성북구
4 임홍재 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0261250-10
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document
2009.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-5017743-44
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0275652-33
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0143045-46
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0077346-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0265183-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0265184-46
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0580796-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
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번호 청구항
1 1
대면적의 기판에 대하여 균일하게 가압하기 위한 극대면적 균일가압장치로서, 기판을 지지 및 고정하기 위한 기판 지지부를 포함하는 척 모듈(chuck module); 상기 척 모듈의 상부에 상기 기판과 소정 간격을 두고 구비되는 신축성 몰드; 상기 신축성 몰드를 고정하기 위한 몸체 모듈; 및 상기 신축성 몰드의 상부에 구비되는 가압 챔버로서, 상기 신축성 몰드와 마주하는 쪽의 면에 신축성 막이 구비되어 있는 가압 챔버; 를 포함하는 극대면적 균일가압장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 가압 챔버가 상기 가압 챔버 내부에 공기를 주입할 수 있는 펌프를 더 구비하고, 상기 가압 챔버는 상기 펌프가 상기 가압 챔버 내부에 공기를 주입함으로써 상기 신축성 막을 변형시킬 수 있도록 구성되며, 상기 신축성 막과 상기 신축성 몰드 사이의 간격은 상기 가압 챔버 내부의 압력 상승의 결과로서 변형된 상기 신축성 막에 의하여 상기 신축성 몰드가 가압될 수 있는 간격이고, 상기 신축성 몰드와 상기 기판 사이의 간격은 상기 신축성 막에 의하여 상기 신축성 몰드에 가해지는 압력에 의하여 상기 신축성 막이 변형되고, 상기 변형에 의하여 상기 신축성 막이 상기 기판 상에 도포된 수지를 가압할 수 있는 간격인 것을 특징으로 하는 극대면적 균일가압장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 신축성 몰드와 상기 척 모듈 사이의 공간의 절대 압력을 감소시키기 위한 진공 장치를 더 포함하고, 상기 몸체 모듈은, 상기 몸체 모듈이 회동 가능하도록 하는 회동 장치; 상기 몸체 모듈이 상기 척 모듈 위에 안착되는 기판의 평면을 따라 제 1 방향으로 이동가능하도록 하는 제 1 이동 장치; 및 상기 몸체 모듈이 상기 척 모듈 위에 안착되는 기판의 평면을 따라, 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동가능하도록 하는 제 2 이동 장치; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 극대면적 균일가압장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 국민대학교 산학협력단 기술기반 구축(핵심)사업 나노공정 기술 및 장비 개발 산학연 혁신 클러스터