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잡음을 감소시킨 웨이퍼 프로버 스테이션의 핫척
- 기술번호 : KST2015202192
- 담당센터 : 인천기술혁신센터
- 전화번호 : 032-420-3580
| 요약 | 본 발명은 잡음을 감쇠시킨 웨이퍼 프로버 스테이션의 핫척에 관한 것이다. 상기 핫 척은, 소정의 두께를 갖는 원통 형상으로 이루어지며 그 상부면에 웨이퍼가 배치될 수 있는 구조를 갖는 메탈 플레이트와, 상기 메탈 플레이트의 하부면 및 측면을 감싸는 구조로 이루어지는 제1 절연막과, 상기 절연막의 측면의 외주면 및 하부면을 감싸는 구조로 이루어지는 금속막과, 상기 금속막의 하부면에 배치되어 외부로부터 전기적 에너지가 인가되어 열을 방출하는 저항 발열체, 및 상기 저항 발열체의 하부에 배치되는 제2 절연막을 구비한다. 상기 금속막은 접지와 연결되어, 상기 금속막으로 인가되는 잡음들을 접지를 통해 방출한다. 본 발명에 의하여, 핫 척의 메탈 플레이트의 하부면 뿐만 아니라 측면으로 열잡음이 들어 오는 것을 방지할 수 있게 된다. 웨이퍼 프로버 스테이션, 핫 척, 열잡음 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/68 (2006.01) |
| CPC | H01L 22/34(2013.01) H01L 22/34(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060051787 (2006.06.09) |
| 출원인 | 한국산업기술대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0764038-0000 (2007.09.28) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20071005) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.06.09) |
| 심사청구항수 | 3 |