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물리적 기상 증착 챔버의 내부 관찰용 시창의 보호 커버

  • 기술번호 : KST2015202217
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물리적 기상 증착(PVD, Physical Vapor Deposition) 장치의 챔버(10)에 설치된 내부 관찰용 시창(View port, 14)의 오염을 전기적 방법에 의해 방지할 수 있도록 개발된 보호 커버에 관한 것으로서, 상기 보호 커버(30)는 금속 망체로 이루어지고, 시창(14)과 챔버(10)의 내부 공간 사이를 차단할 수 있도록 상기 챔버(10)의 내벽에 절연체(35)를 매개로 고정 설치되며, 타겟(12)으로부터 방출된 금속 양이온과 전기적 반발력을 발생시키기 위해 (+)전류 공급부(40)와 연결 설치된다. 물리적 기상 증착, 플라즈마, 시창, 보호 커버, 금속 망체
Int. CL C23C 14/52 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 14/52(2013.01) C23C 14/52(2013.01) C23C 14/52(2013.01) C23C 14/52(2013.01)
출원번호/일자 1020070069740 (2007.07.11)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0006416 (2009.01.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정걸채 대한민국 서울tl 관악구
2 김일호 대한민국 경기도 시흥시 정
3 정연웅 대한민국 서울시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신세기 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로 ***길 **

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0505904-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0021868-72
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0029286-13
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0172227-15
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0239334-96
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0255181-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
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번호 청구항
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물리적 기상 증착(PVD, Physical Vapor Deposition) 장치의 챔버(10)에 설치된 내부 관찰용 시창(View port, 14)의 오염을 방지할 수 있도록 상기 챔버(10)에 장착되는 보호 커버로서, 상기 보호 커버(30)는 금속 망체로 이루어지고, 시창(14)과 챔버(10)의 내부 공간 사이를 차단할 수 있도록 상기 챔버(10)의 내벽에 절연체(35)를 매개로 고정 설치되며, 타겟(12)으로부터 방출된 금속 양이온과의 전기적 반발력을 발생시키기 위해 (+)전류 공급부(40)와 연결 설치된 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착 챔버의 내부 관찰용 시창의 보호 커버
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청구항1에 있어서, 상기 보호 커버(30)를 이루는 금속 망체는 상기 챔버(10)의 내부를 관찰할 수 있는 메시(mesh)로 이루어진 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착 챔버의 내부 관찰용 시창의 보호 커버
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청구항1에 있어서, 상기 시창(14)은 챔버(10)에 별도로 설치된 시창 하우징(14a)에 삽입 장착되고, 상기 금속 망체로 된 보호 커버(30)는 상기 시창 하우징(14a)의 안쪽면에 상기 절연체(35)를 매개로 고정 설치된 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착 챔버의 내부 관찰용 시창의 보호 커버
4 4
청구항1 내지 청구항3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (+)전류 공급부(40)는 상기 금속 양이온이 가지는 전기적 힘에 따라 상기 금속 망체로 된 보호 커버(30)에 공급되는 직류 전압을 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착 챔버의 내부 관찰용 시창의 보호 커버
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