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1
레이저광원으로부터 방출된 레이저광을 2개의 경로로 배분하는 빔스플리터;
상기 빔스플리터에서 배분된 제1 레이저광을 제1 경로에 따라 웨이퍼의 표면에 수평으로 조사하는 제1 광학계;
상기 빔스플리터에서 배분된 제2 레이저광을 제2 경로에 따라 상기 웨이퍼의 표면에 점광원으로 집속되도록 입사시키는 제2 광학계;
상기 웨이퍼의 플랫 존을 투과한 제1 레이저광을 검출하는 제1 광센서;
상기 웨이퍼의 엣지 크랙을 투과한 제2 레이저광을 검출하는 제2 광센서; 및
검출된 상기 제1 및 제2 레이저광을 기반으로 상기 웨이퍼의 플랫 존과 엣지 크랙을 동시에 검출하고 그 검출한 결과에 따라 웨이퍼 척을 구동 제어하는 컨트롤러
를 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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2
제1 항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
검출된 상기 제1 레이저광을 기반으로 상기 웨이퍼의 플랫 존을 검출하고,
그 검출한 시점에서 상기 웨이퍼 척의 위치를 확인하며,
확인된 상기 웨이퍼 척의 위치를 기반으로 상기 웨이퍼의 플랫 존의 위치를 결정하여 결정된 상기 웨이퍼의 프랫 존의 위치에 따라 상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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3
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
검출된 상기 제2 레이저광을 기반으로 상기 웨이퍼의 엣지 크랙을 검출하고,
그 검출한 시점에서 상기 웨이퍼 척의 위치를 확인하며,
확인된 상기 웨이퍼 척의 위치와 상기 웨이퍼의 플랫 존의 위치를 기반으로 상기 웨이퍼의 엣지 크랙의 위치를 결정하여 결정된 상기 웨이퍼의 엣지 크랙의 위치에 따라 상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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4
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 레이저광원은,
LED인 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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5
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 빔스플리터는,
프리즘인 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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6
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 제1 광학계는 콜리메이션 렌즈를 의미하고, 상기 제2 광학계는 콘덴싱 렌즈를 의미하는 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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7
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 제1 광센서는,
어레이 센서인 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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8
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 빔스플리터에서 배분된 제2 레이저광을 제2 경로에 따라 상기 웨이퍼의 표면으로 향하도록 조절하는 미러
를 더 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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| 9 |
9
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 컨트롤러의 신호와 모터의 위치 값을 조합한 함수를 적용하여 레이저광이 웨이퍼의 엣지 부분에 집속되도록 하는 액추에이터
를 더 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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10
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 제1 광센서는,
상기 웨이퍼의 후면부에 위치하여 상기 웨이퍼를 투과한 제1 레이저광을 검출하거나,
상기 웨이퍼의 전면부에 위치하여 상기 웨이퍼에서 반사된 제1 레이저광을 검출하는 것을 특징으로 하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너
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| 11 |
11
레이저광원으로부터 방출된 레이저광을 빔스플리터를 통해 2개의 경로로 배분하는 단계;
배분된 제1 레이저광을 제1 경로에 따라 웨이퍼의 표면에 수평으로 조사하는 단계;
배분된 제2 레이저광을 제2 경로에 따라 상기 웨이퍼의 표면에 점광원으로 집속되도록 입사시키는 단계;
상기 웨이퍼의 플랫 존을 투과한 제1 레이저광을 검출하는 단계;
상기 웨이퍼의 엣지 크랙을 투과한 제2 레이저광을 검출하는 단계; 및
검출된 상기 제1 및 제2 레이저광을 기반으로 상기 웨이퍼의 플랫 존과 엣지 크랙을 동시에 검출하고 그 검출한 결과에 따라 웨이퍼 척을 구동 제어하는 단계
를 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너의 구동 방법
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12
제11 항에 있어서,
상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 단계는,
검출된 상기 제1 레이저광을 기반으로 상기 제1 레이저광의 형태 변화를 인식하는 아날로그 신호를 출력하는 단계;
출력된 상기 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 단계;
변환된 상기 디지털 신호를 분석함에 따라 상기 웨이퍼의 플랫 존을 검출하고, 그 검출한 시점에서 상기 웨이퍼 척의 위치를 확인하는 단계;
확인된 상기 웨이퍼 척의 위치를 기반으로 상기 웨이퍼의 플랫 존의 위치를 결정하는 단계; 및
결정된 상기 웨이퍼의 프랫 존의 위치에 따라 상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 단계를 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너의 구동 방법
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13
제11 항 또는 제12 항에 있어서,
상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 단계는,
검출된 상기 제2 레이저광을 기반으로 상기 제2 레이저광의 형태 변화를 인식하는 아날로그 신호를 출력하는 단계;
출력된 상기 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 단계;
변환된 상기 디지털 신호를 분석함에 따라 상기 웨이퍼의 엣지 크랙을 검출하고, 그 검출한 시점에서 상기 웨이퍼 척의 위치를 확인하는 단계;
확인된 상기 웨이퍼 척의 위치와 상기 웨이퍼의 플랫 존의 위치를 기반으로 상기 웨이퍼의 엣지 크랙의 위치를 결정하는 단계; 및
결정된 상기 웨이퍼의 엣지 크랙의 위치에 따라 상기 웨이퍼 척을 구동 제어하는 단계를 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너의 구동 방법
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14
제13 항에 있어서,
상기 디지털 신호로 변환하는 단계는,
출력된 상기 아날로그 신호를 증폭하는 단계;
증폭된 상기 아날로그 신호에서 노이즈 신호를 제거하는 단계; 및
상기 노이즈 신호가 제거된 아날로그 신호를 상기 디지털 신호로 변환하는 단계를 포함하는 엣지 크랙 검출 기능이 포함된 웨이퍼 플랫 존 얼라이너의 구동 방법
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