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기판 분리장치에 있어서, 기판을 흡착하는 진공그리퍼가 장착된 헤드유닛과, 상기 헤드유닛을 이송시켜 기판이송수단에 기판을 공급하는 수평이동부와, 상기 수평이동부에 연결되며, 상기 헤드유닛을 상하로 승강구동시키는 수직이동부와, 기판을 흡착한 헤드유닛을 수평방향으로 미세 이동시키는 미세이동부를 구비하며, 상기 기판에 압축공기분사노즐로부터 압축공기를 분사함과 동시에 상기 미세이동부에 의해 기판을 수평방향으로 미세이동시키는 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 미세이동부는, 상기 수직이동부에 연결된 플랜지에 체결되는 슬라이더부와, 상기 슬라이더부에 체결되며 상기 슬라이더부를 따라 수평방향으로 이동하는 슬라이더 블럭을 구비하는 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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제 2 항에 있어서, 상기 슬라이더부는 압축공기를 흡입 및 배기하여 상기 슬라이더 블럭을 이동시키는 공압식 슬라이더인 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 미세이동부는 삽입 길이의 조정이 가능한 스토퍼 로드가 관통 삽입되며 상기 슬라이더부에 체결 고정되는 한 쌍의 스토퍼를 더욱 구비하며, 상기 슬라이더 블럭은 외측으로 돌출형성되어 상기 한 쌍의 스토퍼에 마련된 상기 스토퍼 로드에 의해 맞닿아 이동이 제한되는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 헤드유닛은, 진공 그리퍼가 장착되는 그리퍼 교환 플레이트와, 상기 그리퍼 교환플레이트가 장착되는 그리퍼 위치결정블럭과, 상기 그리퍼 위치결정블럭에 형성된 체결홀에 삽입되어 상기 그리퍼 위치결정블럭을 고정시키는 그리퍼 고정핀을 더욱 구비하며, 상기 그리퍼 고정핀은 상기 그리퍼 위치결정블럭에 원터치로 체결 또는 분해되는 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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제 5 항에 있어서, 상기 헤드유닛은, 상기 그리퍼 위치결정블럭을 안내하는 가이드블럭과, 상기 그리퍼 고정핀이 삽입되는 그리퍼 고정블럭과, 상기 슬라이더 블럭의 하부에 체결되며 상기 그리퍼 위치결정블럭과 상기 가이드블럭과 상기 그리퍼 고정블럭이 체결되는 그리퍼 플레이트를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 초박형 유연성 기판의 분리장치
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