| 1 |
1
기 설정된 적어도 하나 이상의 기준 좌표를 기초로 척(chuck)의 이동거리를 측정할 수 있도록 상기 기준 좌표를 포함하는 이미지를 제공하는 이미지 제공부;상기 이미지 제공부에서 제공하는 이미지 상에서 상기 척의 이동에 대한 영상을 촬영하는 영상 촬영부; 및상기 영상 촬영부에 의해 촬영된 상기 척의 이동에 대한 영상으로부터 상기 기준 좌표 값을 검출하여 상기 척 이동 전후의 기준 좌표 값 변화를 계산하고, 계산된 상기 기준 좌표 값 변화와 이동시킨 상기 척의 거리를 이용하여 상기 척의 위치 이동 정밀도 오차를 계산하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제어부는상기 척으로 명령한 이동 거리와 상기 기준 좌표 값 변화를 통해 계산된 상기 척의 실제 이동 거리를 비교하여 상기 척의 위치 이동 정밀도 오차를 계산하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제어부는상기 척을 기 설정된 해상도에 해당하는 횟수 동안 일정 간격만큼 이동시키면서 상기 척의 위치 이동 오차를 계산하고, 이 과정을 기 설정된 일정 횟수만큼 반복 수행하여 상기 척의 위치 이동 정밀도 오차를 계산하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 4 |
4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제어부는상기 척의 이동에 대한 영상에서 콘트라스트가 가장 높은 부분의 좌표를 상기 기준 좌표로 검출하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 이미지 제공부는일정 크기의 정사각형 선이 격자 형태로 그려진 이미지를 제공하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제어부는코너 추출 알고리즘을 사용하여 상기 기준 좌표를 검출하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 제어부는 선형회귀 법을 이용하여 상기 기준 좌표를 검출하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 8 |
8
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제어부는상기 영상 촬영부에 의해 촬영된 상기 이미지 제공부의 이미지 상에서 사용자에 의해 선택된 좌표를 기준 좌표로 설정한 후 상기 척 이동에 따른 상기 기준 좌표 값 변화를 계산하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 시스템
|
| 9 |
9
척의 이동거리를 측정하기 위한 이미지를 제공하는 단계;상기 이미지 상에서 기준 좌표를 설정하는 단계;상기 기준 좌표가 설정된 이미지 상에서 상기 척을 기 설정된 거리만큼 이동시키고, 상기 척의 이동에 대한 영상을 촬영하는 단계;촬영된 상기 영상으로부터 상기 기준 좌표 값을 검출하여 상기 척 이동 전후의 기준 좌표 값 변화를 계산하는 단계; 및계산된 상기 기준 좌표 값 변화와 상기 척의 기 설정된 이동 거리를 이용하여 상기 척의 위치 이동 정밀도 오차를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 오차를 계산하는 단계는상기 척을 기 설정된 해상도에 해당하는 횟수 동안 상기 기 설정된 거리만큼씩 이동시키면서 상기 척의 위치 이동 오차를 계산하고, 이 과정을 기 설정된 일정 횟수만큼 반복 수행하여 상기 척의 위치 이동 정밀도 오차를 계산하는 것을 특징으로 하는 위치 정밀도 검사 방법
|
