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하기 단계들을 포함하는 고압전 계수 박막의 제조방법:a) 납(Pb) 전구체 및 아연(Zn) 전구체를 C1-C10 알콕시알콜에 용해하여 납/아연 전구체 용액을 제조하는 단계;b) 니오비움 전구체를 C1-C10 알콕시알콜에 용해시켜 니오비움 전구체 용액을 제조하는 단계;c) 상기 납/아연 전구체 용액과 니오비움 전구체 용액을 혼합하여 납/아연/니오비움 용액을 제조하는 단계;d) 지르코늄(Zr) 전구체와 티타늄(Ti) 전구체를 C1-C10 알콕시알콜에 혼합하여 지르코늄/티타늄 전구체 용액을 제조하는 단계;e) 상기 납/아연/니오비움 용액과 지르코늄/티타늄 용액을 혼합하여 PZN-PZT 용액을 제조하는 단계;f) 상기 PZN-PZT 용액에 C1-C10 알콕시알콜 및 에틸렌글리콜을 첨가한 후 증류하여 PZN-PZT 졸-겔 용액을 제조하는 단계; 및g) 상기 PZN-PZT 졸-겔 용액을 기판상에 코팅 및 열처리하는 단계
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제 2항에 있어서, 상기 납 전구체는 PbO 또는 Pb(Oac)2·3H2O(단,Oac는 OC(=O)CH3 를 나타냄)인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 지르코늄 전구체는 Zr(i-OPr)4, Zr(OBu)4, Zr(OEt)2(i-OPr)2, Zr(OEt)2(acac)2, Zr(OEt)4 (단, acac는 아세틸아세토네이트를 나타냄)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 티타늄 전구체는 Ti(i-OPr)4, Ti(i-OPr)2(acetylacetonate)2, Ti(OBu)4, Ti(OEt)2(i-OPr)2 및 Ti(OEt)4 (단, i-OPr는 이소프로필옥시, OBu는 부톡시, OEt는 에톡시를 각각 나타냄)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 C1-C10 알콕시알콜은 2-메톡시에탄올, 프로판올, 아세틸아세톤으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 f)단계 후 PZN-PZT 졸-겔 용액을 밀봉하여 건조보관함에서 12-36시간 에이징(aging)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 코팅 및 열처리는 1000 내지 5000 rpm에서 10-30초간 스핀코팅 및 100 내지 450℃에서 5-20분간 유기물 탈리공정을 차례로 3-4회 수행한 후, 질소가스 분위기 하에서 450 내지 700℃에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 아연 전구체는 아연 아세테이트(Zn(CH3CO2)), 아연 클로라이드 (ZnCl2), 및 아연 옥사이드 (ZnO)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 니오비움 전구체 용액은 니오비움 전구체와 C1-C10 알콕시알콜을 1:10 질량비로 혼합하여 60-80℃에서 30분 내지 2시간 동안 교반하여 제조된 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 니오비움 전구체는 니오비움 에톡사이드(Nb(OC2H5)5), 니오비움 브롬화물(NbBr5), 니오비움 콜로라이드(NbCl5), 니오비움 플루오라이드 (NbF5) 및 니오비움 옥사이드(Nb2O5)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고압전 계수 박막의 제조방법
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