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웨이퍼를 핸들링하는 웨이퍼용 트위저 장치에 있어서,제1 면에 웨이퍼가 고정 안착되는 트위저 본체;상기 제1 면에 대향되는 상기 트위저 본체의 제2 면의 중심축상에 배치되는 손잡이부;상기 손잡이부의 내부에 배치되며, 상기 트위저 본체와 연결되어 상기 트위저 본체를 회전시키는 회전부; 및상기 회전부를 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼용 트위저 장치는상기 손잡이부 내부에 배치되며, 상기 트위저 본체와 연결되어 상기 트위저 본체를 진동시키는 진동부;를 더 구비하며,상기 진동부는 상기 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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제 1항에 있어서, 상기 트위저 본체는판상 부재로 이루어지며, 상기 판상 부재의 제1 면에는 상기 웨이퍼를 고정 안착시킬 수 있는 웨이퍼 홀더부가 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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제 3항에 있어서, 상기 트위저 본체는상기 판상 부재의 제1 면에 대향되는 제2 면의 중심축에 연결되는 돌출부를 더 구비하고, 상기 돌출부를 통해 상기 회전부와 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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제 3항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더부는상기 판장수배의 제1 면의 사전에 설정된 영역에 형성된 홈부 및 상기 홈부에 상기 웨이퍼가 장착되면 상기 웨이퍼의 가장자리를 고정시키는 고정수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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제 2항에 있어서, 상기 회전부 및 진동부는동축으로 상기 트위저 본체와 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 트위저 장치
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