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엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템 및 그 제어 방법

  • 기술번호 : KST2015202357
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템 및 그 제어 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템은 엑시머 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진기; 발진된 상기 엑시머 레이저 빔이 투과되는 다수의 마스크가 배열되는 마스크 블록; 상기 마스크 블록 내의 마스크 하단에 배치되고 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값을 측정하는 측정 블록; 측정된 출력값 중 최대 출력값에 상응하는 상기 마스크 블록의 위치 정보를 확인하고 확인된 상기 위치 정보를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 관리자 단말기; 및 출력된 상기 제어 신호를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하는 제어 블록을 포함한다. 이를 통해, 본 발명은 작업 공정의 시간을 줄이고, 가공 효율을 증대시키며, 시스템 성능에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.엑시머 레이저, 마이크로머시닝, 마스크, 파워미터
Int. CL B81C 99/00 (2010.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090091300 (2009.09.25)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단, (주)티엔스
등록번호/일자 10-1259982-0000 (2013.04.25)
공개번호/일자 10-2011-0033711 (2011.03.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주)티엔스 대한민국 경기도 안산시 단원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승철 대한민국 서울특별시 서초구
2 배진수 대한민국 경기도 안산시 단원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주)티엔스 경기도 안산시 단원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0591885-98
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0621740-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0031330-04
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0302960-19
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0593163-47
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0670452-77
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0774494-90
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0858022-12
10 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2011.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0101444-15
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0887948-33
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0887947-98
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0243249-92
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0507234-86
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0507233-30
16 등록결정서
Decision to grant
2012.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0578077-03
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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엑시머 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진기; 발진된 상기 엑시머 레이저 빔이 투과되는 다수의 마스크가 배열되는 마스크 블록; 상기 마스크 블록 내의 마스크 하단에 배치되고 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값을 측정하는 측정 블록; 측정된 출력값 중 최대 출력값에 상응하는 상기 마스크 블록의 위치 정보를 확인하고 확인된 상기 위치 정보를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 관리자 단말기; 및 상기 측정 블록과 결합되며 출력된 상기 제어 신호를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하는 제어 블록을 포함하고, 상기 마스크 블록은 적어도 두 개 이상의 마스크가 직렬 어레이 방식으로 일렬로 일정 간격마다 배열되어 있으며, 상기 관리자 단말기는 주기적으로 상기 마스크 블록과 상기 측정 블록을 좌우로 이동시킨 후 이동된 위치마다 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값을 상기 측정 블록에 의해 측정하고, 상기 측정 블록으로부터 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값 중 최대 출력값에 상응하는 상기 마스크 블록의 위치 정보를 확인하여 상기 위치 정보에 따라 상기 제어 블록이 상기 마스크 블록의 위치를 조절하기 위한 제어 신호를 생성하며, 상기 엑시머 레이저빔에 의한 가공물 패터닝 시 상기 생성된 제어 신호를 상기 제어 블록으로 출력하여 상기 마스크 블록이 상기 제어 신호에 따라 위치하면 상기 가공물 패터닝을 위해 상기 측정 블록 및 상기 제어 블록을 상기 마스크 블록의 하부로부터 이동시키는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템
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삭제
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제1 항에 있어서, 상기 마스크 블록은, 적어도 두 개 이상의 마스크가 두열 이상으로 일정 간격마다 나란히 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템
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제1 항에 있어서, 상기 측정 블록은, 상기 엑시머 레이저 빔의 출력값을 와트 단위로 측정할 수 있는 레이저 파워미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템
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엑시머 레이저 빔을 발진하는 단계; 마스크 블록 내의 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값을 측정하는 단계; 측정된 출력값 중 최대 출력값에 상응하는 상기 마스크 블록의 위치 정보를 상기 마스크 블록 하부에 위치하는 측정 블록에 의해 확인하고 관리자 단말기가 확인된 상기 위치 정보를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 단계; 및 출력된 상기 제어 신호를 기반으로 상기 마스크 블록의 위치를 조절하는 단계를 포함하고, 상기 출력값을 측정하는 단계는 상기 관리자 단말기가 주기적으로 상기 마스크 블록과 상기 측정 블록을 좌우로 이동시킨 후 이동된 위치마다 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값을 상기 측정 블록에 의해 측정하는 단계이며, 상기 제어 신호를 출력하는 단계는 상기 관리자 단말기가 상기 측정 블록으로부터 상기 마스크를 투과한 엑시머 레이저 빔의 출력값 중 최대 출력값에 상응하는 상기 마스크 블록의 위치 정보를 확인하여 상기 위치 정보에 따라 상기 마스크 블록 및 상기 측정 블록과 결합된 제어 블록이 상기 마스크 블록의 위치를 조절하기 위한 제어 신호를 생성한 후 상기 엑시머 레이저빔에 의한 가공물 패터닝 시 상기 생성된 제어 신호를 상기 제어 블록으로 출력하는 단계이고, 상기 마스크 블록의 위치를 조절하는 단계는 상기 가공물 패터닝을 위해 상기 마스크 블록이 상기 제어 신호에 따라 위치하면 상기 측정 블록 및 상기 제어 블록을 상기 마스크 블록의 하부로부터 이동시키는 단계인 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저를 이용한 마이크로머시닝 시스템의 제어 방법
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삭제
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패밀리정보가 없습니다
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