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빔 스팟 프로파일 측정방법 및 빔 스팟 프로파일 측정방법을 구현하는 프로그램을 기록한 기록 매체

  • 기술번호 : KST2015202365
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 빔 스팟의 프로파일을 측정하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르는 빔 스팟의 프로파일을 측정하는 방법은 초점을 형성한 빔 스팟을 디포커싱한 후, 센서 유닛을 이용하여 디포커싱된 빔 스팟의 에너지 분포를 측정하고, 측정된 빔 스팟의 에너지 분포 값을 이용하여 디포커싱된 빔 스팟에서의 제르니케 다항식을 구한다. 도출된 제르니케 다항식을 초점에 적용하여 초점에서의 빔 스팟의 프로파일 및 수차를 구할 수 있다.본 발명의 빔 스팟 프로파일 측정방법은 직접적으로 측정하기 어려운 작은 사이즈의 빔 스팟의 프로파일을 신뢰도 높게 측정할 수 있으며, 도출된 제르니케 다항식으로부터 초점에서의 빔 스팟의 수차를 간단히 구할 수 있다.
Int. CL G11B 7/08 (2006.01) G01J 1/02 (2006.01) G03F 7/207 (2006.01)
CPC G01J 1/44(2013.01) G01J 1/44(2013.01) G01J 1/44(2013.01) G01J 1/44(2013.01)
출원번호/일자 1020100090514 (2010.09.15)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1155742-0000 (2012.06.05)
공개번호/일자 10-2012-0028580 (2012.03.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.15)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정미숙 대한민국 인천광역시 남동구
2 주예나 대한민국 경기도 군포시
3 곽동원 대한민국 서울특별시 서초구
4 이지훈 대한민국 충청남도 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)링크솔루션 경기도 시흥시 산기대학로 *
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0599819-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0082226-37
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0759052-73
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0145324-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0145323-50
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0291743-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
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번호 청구항
1 1
(a) 초점을 형성한 빔 스팟을 디포커싱하는 단계;(b) 디포커싱된 빔 스팟의 에너지 분포를 측정하는 단계;(c) 측정된 빔 스팟의 에너지 분포와 디포커싱된 위치에서의 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포의 오차가 최소가 되는 지점으로 상기 디포커싱된 위치에서의 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포를 이동시키고, 상기 측정된 빔 스팟의 에너지 분포와 이동된 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포를 이용하여 디포커싱된 빔 스팟에서의 제르니케 다항식을 구하는 단계; 및(d) 상기 제르니케 다항식을 이용하여 초점에서의 빔 스팟의 에너지 분포를 구하는 단계;를 포함하는 빔 스팟 프로파일 측정방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 (d) 단계는 (a) 내지 (c) 단계를 복수회 반복하여 각각의 제르니케 다항식을 구하고, 상기 제르니케 다항식들의 계수의 평균값으로 초점에서의 빔 스팟의 에너지 분포를 구하는 것을 특징으로 하는 빔 스팟 프로파일 측정방법
4 4
(a) 초점을 형성한 빔 스팟을 디포커싱하는 단계;(b) 디포커싱된 빔 스팟의 에너지 분포를 측정하는 단계;(c) 측정된 빔 스팟의 에너지 분포와 디포커싱된 위치에서의 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포의 오차가 최소가 되는 지점으로 상기 디포커싱된 위치에서의 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포를 이동시키고, 상기 측정된 빔 스팟의 에너지 분포와 이동된 이상적인 빔 스팟의 에너지 분포를 이용하여 디포커싱된 빔 스팟에서의 제르니케 다항식을 구하는 단계; 및(d) 상기 제르니케 다항식을 이용하여 초점에서의 빔 스팟의 에너지 분포를 구하는 단계;를 포함하는 빔 스팟 프로파일 측정방법을 구현하는 프로그램을 기록한 기록 매체
5 5
삭제
6 6
제4항에 있어서,상기 (d) 단계는 (a) 내지 (c) 단계를 복수회 반복하여 각각의 제르니케 다항식을 구하고, 상기 제르니케 다항식들의 계수의 평균값으로 초점에서의 빔 스팟의 에너지 분포를 구하는 것을 특징으로 하는 빔 스팟 프로파일 측정방법을 구현하는 프로그램을 기록한 기록 매체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 (주)LG전자 전략기술개발사업 광학계 평가시스템 개발