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기판 상에 고정된 지지대;상기 기판 상에 상기 지지대와 이격되어 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 평행한 방향으로 진동하는 진동체;상기 지지대에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판;상기 진동체에 고정되며, 상기 제1 평행판과 엇갈리게 배열되어 상기 외부의 진동에 따라 상기 제1 평행판과 오버랩되는 적어도 하나의 제2 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하고,상기 제1 에너지 수집부와 상기 제2 에너지 수집부는 미러 타입으로 배열된정전방식 에너지 수집 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부 및 상기 제2 에너지 수집부는,+Q 전하가 충전된 상기 제1 평행판 및 -Q 전하가 충전된 상기 제2 평행판을 포함하며, 상기 외부의 진동에 의해 상기 제1 평행판과 상기 제2 평행판이 오버랩되는 면적이 변화되어 정전 용량이 변화되고, 상기 정전 용량 변화에 따라 상기 제1 출력전압 및 상기 제2 출력전압을 생성하는정전방식 에너지 수집 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부 및 상기 제2 에너지 수집부는 상기 제1 평행판과 상기 제2 평행판 간의 전압 차이를 상기 제1 출력전압 및 상기 제2 출력전압으로 각각 생성하는정전방식 에너지 수집 장치
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기판 상에 고정된 지지대;상기 기판 상에 상기 지지대와 이격되어 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 수직한 방향으로 진동하는 진동체;상기 지지대에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판;상기 진동체에 고정되며, 상기 제1 평행판과 엇갈리게 배열되어 상기 외부의 진동에 따라 상기 제1 평행판과 오버랩되는 적어도 하나의 제2 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하고,상기 제1 에너지 수집부는 상기 제1 평행판과 상기 제2 평행판 간의 전압 차이를 상기 제1 출력전압으로 생성하고, 상기 제2 에너지 수집부는 상기 제2 평행판과 상기 기판 간의 전압 차이를 상기 제2 출력전압으로 생성하는 정전방식 에너지 수집 장치
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기판 상에 고정된 지지대;상기 기판의 상에 상기 지지대와 이격되어 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 수직한 방향으로 진동하는 진동체;상기 지지대에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판;상기 진동체에 고정되며, 상기 제1 평행판과 엇갈리게 배열되어 상기 외부의 진동에 따라 상기 제1 평행판과 오버랩되는 적어도 하나의 제2 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하고, 상기 제1 에너지 수집부와 상기 제2 에너지 수집부 각각은 상기 기판의 제1면 및 제2면에 미러 타입으로 배열된 정전방식 에너지 수집 장치
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제6항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부 및 상기 제2 에너지 수집부는, 상기 제1 평행판과 상기 제2 평행판 간의 전압 차이를 상기 제1 출력전압 및 상기 제2 출력전압으로 각각 생성하는 정전방식 에너지 수집 장치
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기판 상에 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 수직한 방향으로 진동하는 진동체;상기 진동체에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하고, 상기 제1 에너지 수집부와 상기 제2 에너지 수집부 각각은 상기 기판의 제1면 및 제2면에 미러 타입으로 배열된 정전방식 에너지 수집 장치
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제8항에 있어서,상기 제1 평행판은 상기 기판과 평행하게 배치된정전방식 에너지 수집 장치
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제8항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부 및 상기 제2 에너지 수집부는, 상기 제1 평행판과 상기 기판 간의 전압 차이를 상기 제1 출력전압 및 상기 제2 출력전압으로 각각 생성하는 정전방식 에너지 수집 장치
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기판 상에 적층된 제1 지지대;상기 제1 지지대 상에 적층된 제2 지지대;상기 제1 지지대와 상기 제2 지지대 사이에 개재된 절연막;상기 기판 상에 상기 제1 지지대 및 상기 제2 지지대와 이격되어 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 수직한 방향으로 진동하는 진동체;상기 제1 지지대에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판; 상기 제2 지지대에 고정된 적어도 하나의 제2 평행판;상기 진동체에 고정되며, 상기 제1 평행판 및 상기 제2 평행판과 엇갈리게 배열되어 상기 외부의 진동에 따라 상기 제1 평행판 또는 상기 제2 평행판과 오버랩되는 적어도 하나의 제3 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하는 정전방식 에너지 수집 장치
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제11항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부는 상기 제1 평행판과 상기 제3 평행판 간의 전압 차이를 상기 제1 출력전압으로 생성하고, 상기 제2 에너지 수집부는 상기 제2 평행판과 상기 제3 평행판 간의 전압 차이를 상기 제2 출력전압으로 생성하는 정전방식 에너지 수집 장치
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기판 상에 고정된 지지대;상기 기판 상에 상기 지지대와 이격되어 형성되며, 외부의 진동에 따라 상기 기판의 표면과 평행한 방향으로 진동하는 진동체;상기 기판과 상기 진동체를 연결시키는 탄성체;상기 지지대에 고정된 적어도 하나의 제1 평행판;상기 진동체에 고정되며, 상기 제1 평행판과 엇갈리게 배열되어 상기 외부의 진동에 따라 상기 제1 평행판과 오버랩되는 적어도 하나의 제2 평행판;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 제1 위상을 갖는 제1 출력전압을 생성하는 제1 에너지 수집부;상기 외부의 진동에 의한 정전 용량 변화를 이용하여 상기 제1 위상과 반대인 제2 위상을 갖는 제2 출력전압을 생성하는 제2 에너지 수집부; 및상기 제1 출력전압과 상기 제2 출력전압을 더하여 제3 출력전압을 생성하는 출력부를 포함하고,상기 제1 에너지 수집부와 상기 제2 에너지 수집부는 나란히 배열된 정전방식 에너지 수집 장치
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제13항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부에 포함된 탄성체와 상기 제2 에너지 수집부에 포함된 탄성체는 서로 상이한 탄성 계수를 갖는 정전방식 에너지 수집 장치
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제14항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부의 고유 진동수(f1)는 f0-Δf이고, 상기 제2 에너지 수집부의 고유 진동수(f2)는 f0+Δf가 되도록 상기 탄성체의 탄성 계수를 각각 결정하고, 여기서, f0는 외부에서 가해지는 진동의 주파수이고, Δf는 상수인 정전방식 에너지 수집 장치
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제13항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부에 포함된 진동체와 상기 제2 에너지 수집부에 포함된 진동체는 서로 상이한 질량을 갖는 정전방식 에너지 수집 장치
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제16항에 있어서,상기 제1 에너지 수집부의 고유 진동수(f1)는 f0-Δf이고, 상기 제2 에너지 수집부의 고유 진동수(f2)는 f0+Δf가 되도록 상기 진동체의 질량을 각각 결정하고, 여기서, f0는 외부에서 가해지는 진동의 주파수이고, Δf는 상수인 정전방식 에너지 수집 장치
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