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처리공간을 제공하는 하우징,
상기 하우징 내부에 설치되고 위에 처리대상이 척킹되며 이 처리대상을 수평으로 회전시키는 스핀 척,
모터 및 이 모터의 회전력을 상기 스핀 척에 전달하는 전동장치,
처리액을 분사하는 처리액 노즐,
처리액이 상기 스핀 척에 척킹되는 처리대상을 향하여 분사되도록 상기 처리액 노즐을 상기 스핀 척 위쪽에 위치시키거나 상기 처리액 노즐을 상기 스핀 척 위쪽으로부터 벗어나 있도록 위치시키는 노즐 이동장치,
상기 스핀 척에 척킹되는 처리대상으로 분사되는 처리액을 상기 하우징 외부로 배출하는 배수장치,
상기 하우징 내부에 외기를 공급하는 흡기장치를 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐 이동장치는,
처리액이 아래쪽으로 분사되도록 상기 처리액 노즐이 장착되고 횡 이동이 가능하도록 구비되어 상기 처리액 노즐을 상기 스핀 척 위쪽과 여기로부터 벗어난 위치 사이에서 왕복 이동시키는 가동 암을 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 2에 있어서,
상기 노즐 이동장치는, 상기 하우징 외측에 횡 이동이 가능하도록 설치되고 상기 가동 암이 상기 하우징에 마련된 연결구멍을 통하여 연결된 슬라이더, 이 슬라이더를 왕복 이동시키는 슬라이더 구동수단을 더 포함하고,
상기 하우징의 연결구멍은, 상기 가동 암의 운동을 방해함이 없도록 형성된 스핀 프로세서
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청구항 3에 있어서,
상기 가동 암의 운동을 방해함이 없도록 상기 하우징의 연결구멍을 차폐하는 덮개를 더 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 3에 있어서, 상기 슬라이더 구동수단은,
상기 슬라이더의 이동방향과 평행하도록 설치되고 상기 슬라이더와 나사짝을 이루도록 결합된 스크루 축,
상기 스크루 축을 정/역회전시키는 모터를 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 1에 있어서,
상기 스핀 척은, 상기 하우징 바닥면으로부터 이격되어 있도록 세워진 중공축, 이 중공축의 상단부에 장착되고 처리액이 상기 중공축에 그 개방된 상단을 통하여 유입되도록 윗면 중앙부에 배수구멍이 형성된 스핀 헤드, 이 스핀 헤드 윗면에서 처리대상을 척킹하는 척킹장치를 포함하고,
상기 배수장치는, 상기 중공축 하단에서 유출되는 처리액을 상기 하우징 외부로 배출하도록 구성된 스핀 프로세서
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청구항 6에 있어서, 상기 스핀 헤드는,
윗면 중앙부의 깊이가 가장자리에 비하여 깊도록 우묵한 스핀 프로세서
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청구항 6에 있어서, 상기 스핀 헤드는,
컵의 구조를 가지도록 윗면 가장자리를 따라 벽이 둘러진 스핀 프로세서
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청구항 6에 있어서, 상기 척킹장치는,
상기 스핀 헤드 윗면에 분리 가능하도록 장착되고 처리대상이 위치되는 수용구멍을 가지는 척킹 블록,
상기 척킹 블록에 수용되는 처리대상을 구속하는 고정수단을 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 9에 있어서, 상기 고정수단은,
상기 척킹 블록의 둘레에 회전방향에 따라 수용되는 처리대상을 향하여 전진하거나 후진하도록 결합된 적어도 하나의 볼트를 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 6에 있어서, 상기 배수장치는,
상기 중공축 하단의 아래쪽에 배치되어 유출되는 처리액을 받는 드레인 팬,
상기 드레인 팬의 처리액을 높이차를 이용하여 상기 하우징 외부로 흘려보내는 드레인 파이프를 포함하는 스핀 프로세서
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청구항 1에 있어서, 상기 전동장치는,
벨트와 풀리를 이용하는 벨트전동 타입인 스핀 프로세서
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청구항 1에 있어서, 상기 흡기장치는,
외기를 흡입하여 상기 하우징에 공급하는 적어도 하나의 팬 유닛,
상기 팬 유닛이 흡입하는 외기를 여과하는 필터를 포함하는 스핀 프로세서
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처리공간을 제공하는 하우징, 이 하우징 내부에 설치되고 위에 놓이는 처리대상을 척킹하는 척킹장치를 가지며 처리대상을 수평으로 회전시키는 스핀 척, 모터 및 이 모터의 회전력을 상기 스핀 척에 전달하는 전동장치, 상기 스핀 척에 척킹되는 처리대상을 향하여 처리액을 분사하는 처리액 노즐, 상기 스핀 척에 척킹되는 처리대상을 향하여 분사되는 처리액을 상기 하우징 외부로 배출하는 배수장치, 상기 하우징 내부에 외기를 공급하는 흡기장치를 포함하고,
상기 척킹장치는, 상기 스핀 헤드 윗면에 분리 가능하도록 장착되고 처리대상이 위치되는 수용구멍을 가지는 척킹 블록, 이 척킹 블록에 수용되는 처리대상을 구속하는 고정수단을 포함하는 스핀 프로세서
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