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다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자에 있어서,압전 세라믹 소재층과,각각 휘발성을 갖는 휘발성 압전 성분을 포함하여 구성되며, 상기 압전 세라믹 소재층의 일측 표면에 순차적으로 적층되는 복수의 제1 졸겔층과,상기 휘발성 압전 성분을 포함하여 구성되며, 상기 압전 세라믹 소재층의 타측 표면에 순차적으로 적층되는 복수의 제2 졸겔층과,상기 복수의 제1 졸겔층 중 최외곽에 위치하는 제1 졸겔층의 표면에 형성되는 제1 전극과,상기 복수의 제2 졸겔층 중 최외곽에 위치하는 제2 졸겔층의 표면에 형성되는 제2 전극을 포함하며;상기 각 제1 졸겔층의 상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 압전 세라믹 소재층으로부터 상기 제1 전극으로 갈수록 낮아지며;상기 각 제2 졸겔층의 상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 압전 세라막 소재층으로부터 상기 제2 전극으로 갈수록 낮아지는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 졸겔층 및 상기 제2 졸겔층은 PZN(Pb(Zn, Nb)O3) 계열 또는 PZT(Pb(Zr, Ti)O3) 계열의 압전 소재로 형성되며;상기 휘발성 압전 성분은 Pb 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 졸겔층 및 상기 제2 졸겔층은 NKN((Na,K)NbO3) 계열의 압전 소재로 형성되며;상기 휘발성 압전 성분은 Na 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 각 제1 졸겔층을 구성하는 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 상기 압전 세라믹 소재층으로부터 상기 제1 전극으로 갈수록 점진적으로 높아지며;상기 각 제2 졸겔층을 구성하는 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 상기 압전 세라막 소재층으로부터 상기 제2 전극으로 갈수록 점진적으로 높아지는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제4항에 있어서,상기 압전 세라믹 소재층에 인접한 제1 졸겔층 및 제2 졸겔층의 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 20%로 형성되며;상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각에 인접한 제1 졸겔층 및 제2 졸겔층의 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 50%로 형성되는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제4항에 있어서,상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 제1 졸겔층 및 상기 제2 졸겔층의 전체 용질 성분 중 상기 휘발성 압전 성분의 비율로 결정되는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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7
제6항에 있어서,상기 압전 세라믹 소재층에 인접한 제1 졸겔층 및 제2 졸겔층의 전체 용질 성분 중 상기 휘발성 압전 성분의 비율은 1
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다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자에 있어서,베이스 기판과,상기 베이스 기판 상에 형성되는 압전 세라믹 후막층과,각각 휘발성을 갖는 휘발성 압전 성분을 포함하여 구성되며, 상기 압전 세라믹 소재층의 일측 표면에 순차적으로 적층되는 복수의 졸겔층과,상기 복수의 졸겔층 중 최외곽에 위치하는 졸겔층의 표면에 형성되는 전극을 포함하며;상기 졸겔층의 상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 압전 세라믹 후막층으로부터 상기 전극으로 갈수록 낮아지는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제8항에 있어서,상기 졸겔층은 PZN(Pb(Zn, Nb)O3) 계열 또는 PZT(Pb(Zr, Ti)O3) 계열의 압전 소재로 형성되며;상기 휘발성 압전 성분은 Pb 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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10
제8항에 있어서,상기 졸겔층은 NKN((Na,K)NbO3) 계열의 압전 소재로 형성되며;상기 휘발성 압전 성분은 Na 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 각 졸겔층을 구성하는 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 상기 압전 세라믹 후막층으로부터 상기 전극으로 갈수록 점진적으로 높아지는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제11항에 있어서,상기 압전 세라믹 후막층에 인접한 졸겔층의 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 20%로 형성되며;상기 전극에 인접한 졸겔층의 용매에 대한 전체 용질 성분의 농도는 50%로 형성되는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제11항에 있어서,상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 졸겔층의 전체 용질 성분 중 상기 휘발성 압전 성분의 비율로 결정되는 것을 특징으로 하는 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
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제13항에 있어서,상기 압전 세라믹 후막층에 인접한 졸겔층의 전체 용질 성분 중 상기 휘발성 압전 성분의 비율은 1
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