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요약 |
본 발명은, 용량형 변위 센서에 의한 거리 측정 장치에 사용되는 보정용 센서 타겟에 관한 것으로서, 상기 용량형 변위 센서로부터 소정의 거리 이격되어 있는 제1 면과, 상기 제1 면의 반대쪽에서 제1 면과 평행한 제2 면을 포함하는 절연층과, 상기 절연층과 평행하게 상기 제2 면에 접합되는 금속층을 포함한다.
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Int. CL |
G01D 18/00 (2006.01) G01B 7/00 (2006.01)
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CPC |
G01B 7/023(2013.01) G01B 7/023(2013.01) G01B 7/023(2013.01) G01B 7/023(2013.01) G01B 7/023(2013.01) G01B 7/023(2013.01)
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출원번호/일자 |
1020110014576
(2011.02.18)
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출원인 |
한국산업기술대학교산학협력단
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등록번호/일자 |
10-1178039-0000
(2012.08.23)
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공개번호/일자 |
10-2012-0095109
(2012.08.28)
문서열기
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공고번호/일자 |
(20120829)
문서열기
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국제출원번호/일자 |
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국제공개번호/일자 |
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우선권정보 |
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법적상태 |
소멸 |
심사진행상태 |
수리 |
심판사항 |
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구분 |
신규 |
원출원번호/일자 |
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관련 출원번호 |
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심사청구여부/일자 |
Y
(2011.02.18)
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심사청구항수 |
2 |