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웨이퍼 범핑 장비 및 이를 이용한 범핑 방법

  • 기술번호 : KST2015202466
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 범핑 장비 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 범핑 장비는, 웨이퍼가 놓여지는 척과, 상기 척을 이동시키는 척구동부를 구비하는 척유닛; 상기 척이 승강하는 관통부와 상기 관통부의 주변에 형성된 제1정렬수단을 구비하는 정렬테이블; 상기 척의 주변에 수평방향으로 배치된 가이드레일; 플럭스마스크와, 상기 플럭스마스크의 테두리를 지지하고 상기 제1정렬수단과 결합하는 제2정렬수단을 구비하는 플럭스마스크프레임과, 상기 플럭스마스크프레임을 상기 가이드레일을 따라 이동시키는 제1구동수단을 구비하는 플럭스마스크유닛; 볼마스크와, 상기 볼마스크의 테두리를 지지하고 상기 제1정렬수단과 결합하는 제3정렬수단을 구비하는 볼마스크프레임과, 상기 볼마스크프레임을 상기 가이드레일을 따라 이동시키는 제2구동수단을 구비하는 볼마스크유닛; 상기 척의 상부에 설치되며, 웨이퍼에 형성된 다수의 기준마크의 위치값을 각각 획득하는 다수의 비젼카메라를 포함한다.본 발명에 따르면 웨이퍼와 플럭스마스크 또는 볼마스크가 근접한 상태에서 비젼카메라를 이용하여 웨이퍼 범핑영역과 마스크 홀의 정렬상태를 확인함으로써 웨이퍼의 위치를 보다 정확히 정렬할 수 있으며, 이를 통해 작업정확도를 개선하여 불량율을 크게 낮출 수 있다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01)
출원번호/일자 1020130005134 (2013.01.16)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단, (주) 에스에스피
등록번호/일자 10-1410171-0000 (2014.06.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140630) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.16)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주) 에스에스피 대한민국 인천광역시 남동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황달연 대한민국 경기 성남시 분당구
2 김수기 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정충곤 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동) 비봉빌딩 *층(장백국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주) 에스에스피 인천광역시 남동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0046029-21
2 보정요구서
Request for Amendment
2013.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0007543-12
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0069501-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079100-92
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0847807-04
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0049079-53
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0049078-18
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0133464-79
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0211616-84
11 등록결정서
Decision to grant
2014.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0225063-54
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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다수의 볼랜드 중에서 나머지 볼랜드와 다른 형상을 갖는 위치인식용 볼랜드를 포함하는 웨이퍼에 솔더볼을 부착하는 웨이퍼 범핑방법에 있어서,비젼카메라로 척에 놓여진 상기 웨이퍼의 위치값을 획득하고, 위치오차가 있는 경우 척구동부를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 조정하는 단계;플럭스마스크를 상기 척의 상부로 이동시키는 단계;상기 비젼카메라를 이용하여 상기 위치인식용 볼랜드와 상기 플럭스마스크에 형성된 마스크홀의 정렬상태를 확인하고, 정렬오차가 있는 경우 상기 척구동부를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 조정하는 단계;상기 플럭스마스크의 상부에서 플럭스 스퀴징공정을 수행하는 단계;볼마스크를 상기 척의 상부로 이동시키는 단계;상기 비젼카메라를 이용하여 상기 위치인식용 볼랜드와 상기 볼마스크에 형성된 마스크홀의 정렬상태를 확인하고, 정렬오차가 있는 경우 상기 척구동부를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 조정하는 단계;상기 볼마스크의 상부에서 볼스퀴징공정을 수행하는 단계를 포함하는 웨이퍼 범핑 방법
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제1항에 있어서
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 플럭스마스크의 상부에서 플럭스 스퀴징공정을 수행하는 단계의 이후에는 상기 플럭스마스크의 상부에서 공기를 분사하면서 상기 웨이퍼가 놓여진 상기 척을 하강시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 범핑 방법
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웨이퍼가 놓여지는 척과, 상기 척을 이동시키는 척구동부를 구비하는 척유닛;상기 척이 승강하는 관통부와 상기 관통부의 주변에 형성된 제1정렬수단을 구비하는 정렬테이블;상기 척의 주변에 수평방향으로 배치된 가이드레일;플럭스마스크와, 상기 플럭스마스크의 테두리를 지지하고 상기 제1정렬수단과 결합하는 제2정렬수단을 구비하는 플럭스마스크프레임과, 상기 플럭스마스크프레임을 상기 가이드레일을 따라 이동시키는 제1마스크구동수단을 구비하는 플럭스마스크유닛;볼마스크와, 상기 볼마스크의 테두리를 지지하고 상기 제1정렬수단과 결합하는 제3정렬수단을 구비하는 볼마스크프레임과, 상기 볼마스크프레임을 상기 가이드레일을 따라 이동시키는 제2마스크구동수단을 구비하는 볼마스크유닛;상기 척의 상부에 설치되며, 웨이퍼에 형성된 다수의 기준마크의 위치값을 각각 획득하는 다수의 비젼카메라를 포함하는 웨이퍼 범핑 장비
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제5항에 있어서, 상기 정렬테이블과 이격되어 설치된 승강테이블;상기 승강테이블을 승강시키는 제1수직구동수단;일단이 상기 승강테이블에 연결되어 상기 척구동부를 승강시키는 제2수직구동수단상기 플럭스마스크의 상부에서 공기를 분사하는 공기분사수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 범핑 장비
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패밀리정보가 없습니다
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1 교육과학기술부 한국산업기술대학교 산학협력단 산학협력 선도대학 육성사업(LINC) Saw Filter용 Wafer Level Solder Ball 마운팅 지그개발