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관 측정장치에 있어서,광원으로부터 방출되는 빛에 기초하여 복수의 각도에서 관의 관벽을 향해 빔을 조사하는 복수의 빔 조사부;각각의 상기 빔 조사부를 주기적으로 스위칭하는 스위치;각각의 상기 빔 조사부에서 조사된 빔에 의해 상기 관벽에서 반사되는 반사빔과 각각의 상기 빔 조사부에서 조사된 빔의 참조 빔을 수광하고, 상기 반사 빔 및 상기 참조 빔의 간섭을 검출하는 검출기; 및상기 검출기에 의해 검출되는 정보에 기초하여 관 벽의 두께 및 관의 내벽 사이의 거리를 포함하는 측정정보를 획득하는 데이터처리 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 관 측정장치
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제 1항에 있어서,복수의 상기 빔 조사부는,상기 광원으로부터 관의 관벽을 향해 제1샘플 빔을 입사하는 제1 빔 조사부; 및상기 제1샘플 빔의 입사 방향과 일정 각도를 이루도록 관의 관벽을 향해 제2샘플 빔을 입사하는 제2 빔 조사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 관 측정장치
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제 2항에 있어서,각각의 상기 빔 조사부는,상기 제1 빔 조사부에 의해 입사되는 제1샘플 빔에 대한 평행광선을 형성하는 제1 콜리메이터; 및상기 제2 빔 조사부에 의해 입사되는 제2샘플 빔에 대한 평행광선을 형성하는 제2 콜리메이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 관 측정장치
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제 3항에 있어서,상기 스위치는,상기 제1 콜리메이터 및 상기 제2 콜리메이터의 각각에 교번하여 빔을 입력하는 것을 특징으로 하는 관 측정장치
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제 2항에 있어서,복수의 상기 빔 조사부는 각각이 서로 다른 각도에서 관의 관벽을 향해 빔을 입사하되, 하나의 광원으로부터 방출되는 빛에 기초하여 빔을 입사하는 것을 특징으로 하는 관 측정장치
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광원으로부터 방출되는 빛에 기초하여 관의 관벽을 향해 입사되는 제1 평행광선을 형성하는 단계;상기 제1 평행광선에 대하여 설정된 각도를 이루며, 관의 관벽을 향해 입사되는 제2 평행광선을 형성하는 단계; 및상기 제1 평행광선 및 상기 제2 평행광선이 상기 관의 관벽에서 반사되는 반사 빔과 상기 제1, 제2 평행광선에 각기 대응되는 참조 빔을 수광하며, 상기 반사 빔 및 상기 참조 빔의 간섭에 기초하여 관 벽의 두께 및 관의 내벽 사이의 거리를 측정하는 단계를 포함하는, 관 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 제2 평행광선은 상기 제1 평행광선에 대하여 일정 각도를 이루는 복수의 평행광선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 관 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 제1 평행광선 및 상기 제2 평행광선은 서로 90°의 각도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 관 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 제1 평행광선 및 상기 제2 평행광선은 하나의 광원에 의해 방출되는 빛에 기초하여 형성되는 것을 특징으로 하는 관 측정방법
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제 9항에 있어서,상기 제1 평행광선 및 상기 제2 평행광선에 의한 빛의 간섭은 하나의 간섭계를 통해 검출되는 것을 특징으로 하는 관 측정방법
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