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(a) 유리 기판의 표면에 금속층을 형성하는 단계;(b) 상기 금속층위에 레진을 도포하여 레진층을 형성하는 단계;(c) 사전 설정된 형상의 패턴이 형성된 스탬프를 상기 레진층에 가압한 상태에서 상기 레진층을 경화시킨 후, 상기 스탬프를 레진층으로부터 분리시키는 단계;(d) 상기 스탬프의 패턴에 대응하여 상기 금속층의 표면이 노출되도록, 상기 레진층의 잔여물을 제거하는 단계; (e) 상기 레진층을 마스크로 하여 금속층을 산화시킨 후, 상기 레진층 및 산화되지 않은 금속층을 선택적으로 제거하여, 유리 기판의 표면에 패터닝된 금속 산화막을 형성하는 단계;(f) 상기 패터닝된 금속 산화막을 마스크로 하여 유리 기판의 표면을 식각하는 단계; 를 구비하여, 상기 유리 기판의 표면에 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속층은 산화될 수 있는 금속으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 레진은 UV 경화성 레진으로 구성된 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 (d) 단계는 반응성 이온 식각 공정을 수행하여 상기 레진층의 잔여물을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 (e) 단계는 산화 가스를 포함하는 플라즈마 분위기에서 금속층과 산화 가스가 반응하여 금속층을 산화시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 (f) 단계는 건식 식각 공정을 이용하여 유리 기판의 표면을 식각하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 스탬프의 패턴은 나노 사이즈의 미세 패턴인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 패턴 형성 방법
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 패턴 형성 방법을 적용하여 패턴이 형성된 유리 기판
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