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(a) 알루미늄을 포함하는 금속 유기화합물과, 코발트 및 니켈 중 선택되는 1종 이상의 금속 혼합물을 포함하는 금속 유기화합물의 혼합물을 유기용매에 용해하여 촉매를 제조하는 단계;(b) 기판 위에 상기 촉매를 습식법으로 도포하여 촉매층을 제조하는 단계;및(c) 상기 촉매층 위에 카본 나노튜브 집합체를 수직배향되도록 제조하는 단계를 포함하며,알루미늄을 포함하는 금속 유기화합물의 알루미늄과, 코발트 및 니켈 중 선택되는 1종 이상의 금속 혼합물을 포함하는 금속 유기화합물의 금속의 원자비가 1:5 내지 5:1의 범위인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (b) 단계의 습식법은 스핀 코팅법 또는 딥코팅법에 의하여 촉매층을 제조하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 유기용매는 알콜, 아세톤, 디메틸틸포름아미드(DMF), n-methylene-pyrrolydone(NMP)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 촉매는 금속 성분의 함량이 0
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제1항에 있어서,상기 촉매층의두께는 2 ~ 30nm으로 형성되어, 상기 촉매층의 상부에 배향되는 상기 카본 나노튜브 집합체를 인발할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c)단계는 화학증착법에 의하여 카본 나노튜브를 제조하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a)단계 후에 촉매층에 50 ~ 800℃의 온도로 5 ~ 30분간 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 집합체의 제조방법
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