맞춤기술찾기

이전대상기술

시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치

  • 기술번호 : KST2015202541
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 측면에 따르면, 박막이 형성된 시편에 광원이 생성한 빛을 조사하여 간섭이 일어나는 반사광의 파장을 측정하여 상기 시편 상에 형성된 상기 박막의 두께를 측정하는 박막두께 측정장치(Spectral Reflectometor)에 있어서, 서로 다른 파장을 가진 n(단, n은 1 이상의 정수)가지 종류의 LED를 포함하는 광원부;및 상기 광원부에 인가되는 전류를 조절하여 각 파장별로 동일한 밝기로 발광하도록 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막두께 측정장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 다양한 파장의 LED에 흐르는 전류량을 각각 제어함으로써, 파장별 빛의 세기를 균일하게 제어하는 효과가 있다.
Int. CL F21S 2/00 (2016.01) G01B 11/06 (2006.01)
CPC F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01) F21K 9/60(2013.01)
출원번호/일자 1020140007230 (2014.01.21)
출원인 주식회사 나노텍, 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1607639-0000 (2016.03.24)
공개번호/일자 10-2015-0086955 (2015.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20160330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.21)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 나노텍 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 차동호 대한민국 서울특별시 강남구
2 남윤석 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 나노텍 경기도 용인시 수지구
2 한국산업기술대학교산학협력단 경기도 시흥시 산기대학로
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0061844-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5077151-20
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0096734-06
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0061862-50
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0298128-11
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0410385-23
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0510080-26
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0622185-60
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0622184-14
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0818741-89
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.12.28 수리 (Accepted) 7-1-2015-0059127-66
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0082483-84
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.01.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0082490-04
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0109766-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2016-5051562-53
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2016-5051690-99
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2018-0001530-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막이 형성된 시편에 광원이 생성한 빛을 조사하여 상기 시편에서 반사된 빛의 스펙트럼을 광 센서로 분석하여 상기 시편 상에 형성된 상기 박막의 두께를 측정하는 박막두께 측정장치(Spectral Reflectometor)에 있어서,서로 다른 파장을 가진 n(단, n은 1 이상의 정수)가지 종류의 LED를 포함하는 광원부; 및상기 광원부에 인가되는 전류를 조절하여 상기 스펙트럼의 밝기가 상기 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 상기 광원부의 발광을 제어하는 제어부; 를 포함하되, 상기 광원이 생성한 빛을 일단에서 수집하는 광 섬유를 더 포함하고, 상기 광 섬유의 일단에 상기 광원이 생성한 빛을 집광하는 광 깔때기를 더 포함하며, 상기 광원부는 제논 램프를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 LED와 상기 제논램프가 상기 박막 두께를 측정하는 순간에만 발광하도록 제어하며, 상기 LED와 상기 제논 램프가 일정한 밝기로 수렴한 후에 상기 박막의 두께를 측정하도록 제어하고, 상기 광원부에서, 상기 제논 램프를 기준광원으로 하고 상기 LED는 상기 제논 램프를 보완하며, 상기 제어부는 상기 광원부가 상기 박막의 두께를 측정하는 순간에 최대 밝기가 되도록 제어하고, 상기 광깔때기는, 일측이 타측에 비해 넓은 유선형의 광섬유이고, 상기 광섬유의 타단이 상기 시편을 향하며, 상기 시편에 평행한 빛을 조사하도록 상기 광 섬유의 타단에 콜리메이팅(Collimating) 광학계가 추가로 구비되고, 상기 광 섬유는 상기 시편에 수직으로 구비되며, 상기 광섬유의 타단에 수용구를 더 구비하여 반사된 빛을 상기 수용구로 수집하며, 상기 수용구는 분광분석기에 연결되고, 상기 분광분석기는, 상기 반사된 빛을 분광하고 분석하여, 상기 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정 감도에 최적화되도록 계산된 상기 광원부의 세기를 상기 제어부에 전달하며, 상기 제어부는, 상기 LED보다 상기 제논램프의 제어시점이 이르도록 설정하여 상기 박막두께를 측정하는 시점에 맞도록 발광시점을 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 박막두께 측정장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
박막이 형성된 시편에 광원이 생성한 빛을 조사하여 상기 시편에서 반사된 빛의 스펙트럼을 광 센서로 분석하여 상기 시편 상에 형성된 상기 박막의 두께를 측정하는데 이용되는 광원모듈에 있어서, 서로 다른 파장을 가진 n(단, n은 1 이상의 정수)가지 종류의 LED를 포함하는 광원부; 및각 파장별로 기 설정된 밝기로 발광하도록 상기 광원부에 인가되는 전류를 제어하는 제어부;를 포함하되, 상기 광원부의 빛을 유도하는 광 섬유를 구비하고, 상기 광 섬유의 일단에 상기 광원부가 생성한 빛을 집광하는 광 깔때기를 더 포함하며, 상기 광원부는 제논 램프를 더 포함하고, 상기 광원부에서 상기 제논 램프를 기준광원으로 하고 상기 LED는 상기 제논 램프를 보완하며, 상기 광 깔때기는, 일측이 타측에 비해 넓은 유선형의 광섬유이고, 상기 기설정된 밝기는 입력신호에 따라 제어되며, 상기 제어부는, 상기 LED보다 상기 제논램프의 제어시점이 이르도록 설정하여 상기 박막두께를 측정하는 시점에 맞도록 발광시점을 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 광원 모듈
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국산업기술대학교 산학협력단 LINC 기술개발과제 광계측용 UV-IR Fiber Optic Light Source 개발