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플랫존 영상을 이용하여 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015202556
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 플랫존 영상을 이용하여 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치 및 그 방법이 개시된다.본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치는 반도체 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 척; 상기 웨이퍼 척에 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 영상을 촬영하는 카메라; 및 촬영된 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하고 그 검출된 반도체 웨이퍼의 플랫존을 근거로 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하여 상기 반도체 웨이퍼가 고정되어 있는 상기 웨이퍼 척을 회전시키는 단말 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명은 반도체 웨이퍼의 정렬 시간을 단축시고, 이로 인해 반도체 웨이퍼의 생산성을 크게 향상시킬 뿐만 아니라, 회전 오프셋의 정확도와 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01)
출원번호/일자 1020100120017 (2010.11.29)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1362677-0000 (2014.02.03)
공개번호/일자 10-2012-0058300 (2012.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20140212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배유석 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 진상일 대한민국 서울특별시 양천구
3 지효근 대한민국 경기도 광주시
4 이현숙 대한민국 강원도 삼척시 청석로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)에스아이엔지니어링 경기도 시흥시 공단*대로***번
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0784312-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0060895-81
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0511117-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0885433-20
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0996475-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0996474-62
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0276675-25
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0559721-07
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0559723-98
11 등록결정서
Decision to grant
2013.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0747241-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반도체 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 척;상기 웨이퍼 척에 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 영상을 촬영하는 카메라; 및촬영된 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하고 그 검출된 반도체 웨이퍼의 플랫존을 근거로 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하는 것에 의해, 상기 반도체 웨이퍼가 고정되어 있는 상기 웨이퍼 척을 회전시키는 회전 수단을 제어하는 단말 장치를 포함하며,상기 단말 장치는, 세선화 알고리즘(thinning algorithm)을 이용하여 상기 카메라에 의해 촬영된 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 세선을 검출하고, 상기 검출된 반도체 웨이퍼의 플랫존의 세선과 상기 단말장치에 저장된 기준 수평선을 비교하여 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하고, 상기 확인한 결과로 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋이 존재하면, 상기 반도체 웨이퍼를 회전시키는 상기 회전 수단을 제어하며,상기 웨이퍼 척은, 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼와 구별되는 색상으로 구현되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치
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제1 항에 있어서,상기 단말 장치는, 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋에 대한 보정 과정이 일정 횟수 이상 반복되면 오류가 발생했다고 판단하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치
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(a) 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 척에 고정하는 단계;(b) 카메라를 이용하여 상기 웨이퍼 척에 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 영상을 촬영하는 단계;(c) 촬영된 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하는 단계; 및(d) 그 검출된 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 근거로 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하여 상기 반도체 웨이퍼가 고정되어 있는 상기 웨이퍼 척을 회전시키는 단계를 포함하며,상기 (c) 단계는, 세선화 알고리즘(thinning algorithm)을 이용하여 상기 카메라에 의해 촬영된 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 세선을 검출하며,상기 (d) 단계는, 상기 검출된 반도체 웨이퍼의 플랫존의 세선과 기준 수평선을 비교하여 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하고, 상기 확인한 결과로 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋이 존재하면, 상기 반도체 웨이퍼를 회전시키며,상기 웨이퍼 척은, 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼와 구별되는 색상으로 구현되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 방법
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제6 항에 있어서,(e) 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋에 대한 보정 과정이 일정 횟수 이상 반복되면 오류가 발생했다고 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 방법
지정국 정보가 없습니다
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