맞춤기술찾기

이전대상기술

엑시머레이저 빔의 분기를 이용한 마이크로 필름 가공 방법및 그 장치

  • 기술번호 : KST2015202618
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 엑시머레이저 빔을 마이크로 필름과 같은 피가공부재에 조사하여 홀을 형성하도록 한 엑시머레이저 빔의 분기를 이용한 마이크로 필름 가공 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 엑시머레이저 빔을 빔스프리터에 의해 통과 및 분기시키고, 상기 통과 및 분기된 빔을 각기 미러 및 렌즈에 조사한 후 각 렌즈에 대응되는 피가공물에 조사하여 천공시킴으로써 다수의 피가공물에 대한 천공이 동시에 수행될 수 있도록 한 것이다. 엑시머레이저, 천공, 분기
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC B23K 26/067(2013.01) B23K 26/067(2013.01) B23K 26/067(2013.01) B23K 26/067(2013.01) B23K 26/067(2013.01) B23K 26/067(2013.01)
출원번호/일자 1020080060349 (2008.06.25)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단, (주)티엔스
등록번호/일자 10-1001593-0000 (2010.12.09)
공개번호/일자 10-2010-0000735 (2010.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20101217) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.25)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주)티엔스 대한민국 경기도 안산시 단원구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박승철 대한민국 서울특별시 서초구
2 배진수 대한민국 경기도 안산시 단원구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 송종선 대한민국 서울특별시 구로구 가마산로 ***, *층 (구로동, 도진빌딩)(우암법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
2 (주)티엔스 대한민국 경기도 안산시 단원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0457447-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2009-5026652-46
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.12.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0003725-99
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0224590-87
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0484984-46
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0484994-03
8 등록결정서
Decision to grant
2010.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0541995-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
엑시머레이저 빔을 빔스프리터에 의해 통과 및 분기시키고, 상기 통과 및 분기된 빔을 각기 미러 및 렌즈에 조사한 후 각 렌즈에 대응되는 피가공물에 조사하여 천공시킴으로써 다수의 피가공물에 대한 천공이 동시에 수행될 수 있도록 하며, 상기 다수의 피가공물을 적층 조립시켜 제품을 제조하는 것을 특징으로 하는 엑시머레이저 빔의 분기를 이용한 마이크로 필름 가공 방법
2 2
엑시머레이저 빔을 빔스프리터에 조사하여 일부는 통과시키고, 일부는 반사시키는 1단계와, 상기 1단계의 빔스프리터를 통과한 빔을 제 1미러에 반사시켜 수직 하방으로 방향을 전환하는 2단계와, 상기 2단계에서 반사된 빔을 렌즈를 통과시켜 피가공물에 조사하여 천공을 수행하는 3단계로 구성된 제 1천공공정과; 상기 1단계에서 일부 반사된 빔을 제 2미러에 의해 재반사시키는 4단계와, 상기 4단계에서 반사된 빔을 제 3미러에 의해 반사시켜 수직 하방으로 향하도록 하는 5단계와, 상기 5단계에서 반사된 빔을 렌즈를 통과시켜 피가공물에 조사하여 천공을 수행하는 6단계로 구성된 제 2천공공정; 을 포함하되, 상기 다수의 피가공물을 적층 조립시켜 제품을 제조하는 것을 특징으로 하는 엑시머레이저 빔의 분기를 이용한 마이크로 필름 가공 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
레이저 발진기와; 상기 레이저 발진기에서 방사된 엑시머레이저 빔을 받아 일부는 통과시키고 일부는 반사시켜 분기시키는 제 1빔스프리터와; 상기 제 1빔스프리터에서 통과된 빔을 받아 일부는 반사하고 일부는 통과시키는 제 2빔스프리터와; 상기 제 2빔스프리터를 통과한 빔을 반사시키는 제 1미러와, 상기 제 1미러에서 반사된 빛을 받아 제 1피가공물에 조사하여 천공시키는 제 1렌즈로 구성된 제 1가공부와; 상기 제 2빔스프리터에서 반사된 빔을 받아 반사시키는 제 10미러와, 상기 제 10미러에서 반사된 빔을 재반사시키는 제 2미러와, 상기 제 2미러에서 반사된 빛을 받아 제 2피가공물에 조사하여 천공시키는 제 2렌즈로 구성된 제 2가공부와; 상기 제 1빔스프리터에서 반사된 빔을 받아 반사시키는 제 11미러와, 상기 제 11미러에서 반사된 빔을 받아 일부는 반사하고 일부는 통과시키는 제 3빔스프리터와; 상기 제 3빔스프리터를 통과한 빔을 반사시키는 제 3미러와, 상기 제 3미러에서 반사된 빛을 받아 제 3피가공물에 조사하여 천공시키는 제 3렌즈로 구성된 제 3가공부와; 상기 제 3빔스프리터에서 반사된 빔을 받아 반사시키는 제 12미러와, 상기 제 12미러에서 반사된 빔을 재반사시키는 제 4미러와, 상기 제 4미러에서 반사된 빛을 받아 제 4피가공물에 조사하여 천공시키는 제 4렌즈로 구성된 제 4가공부 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 엑시머레이저 빔의 분기를 이용한 마이크로 필름 가공장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.