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백업 플레이트와 본딩 헤드를 갖는 본딩 장치에서 상기 본딩 헤드의 압력 분포를 측정하기 위한 압력 분포 측정 시편에 있어서,
상기 백업 플레이트에 안착되는 안착부와,
상기 본딩 헤드가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동할 때 상기 본딩 헤드에 의해 가압되어 상기 백업 플레이트 방향으로 이동하는 시편 본체와,
상기 본딩 헤드의 가압에 의해 상기 시편 본체가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동 가능하도록 상기 안착부와 상기 시편 본체를 연결하는 변형부를 포함하며;
상기 시편 본체는,
상기 본딩 헤드가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동할 때 상기 본딩 헤드의 하부면이 접촉되는 헤드 접촉바와,
상기 헤드 접촉바의 일측 가장자리 영역으로부터 T 자 형태로 연장된 한 쌍의 제1 연장부와,
상기 헤드 접촉바의 타측 가장자리 영역으로부터 T 자 형태로 연장된 한 쌍의 제2 연장부를 포함하며;
상기 변형부는,
상기 한 쌍의 제1 연장부 중 어느 하나와 상기 한 쌍의 제2 연장부 중 어느 하나를 연결하는 제1 변형빔부와, 상기 안착부와 상기 시편 본체가 소정 간격 이격되도록 상기 제1 변형빔부의 하부면 중앙 부분으로부터 연장되어 상기 안착부의 상부면과 연결된 제1 지지부를 갖는 제1 변형빔과,
상기 한 쌍의 제1 연장부 중 다른 하나와 상기 한 쌍의 제2 연장부 중 다른 하나를 연결하는 제2 변형빔부와, 상기 안착부와 상기 시편 본체가 소정 간격 이격되도록 상기 제2 변형빔부의 하부면 중앙 부분으로부터 연장되어 상기 안착부의 상부면과 연결된 제2 지지부를 갖는 제2 변형빔을 포함하며;
상기 본딩 헤드가 상기 시편 본체를 가압할 때 상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부를 중심으로 상기 제1 변형빔부 및 상기 제2 변형빔부의 양측이 탄성적으로 변형되어 상기 시편 본체가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 시편
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제3항에 있어서,
상기 시편 본체의 상기 헤드 접촉바에는 상기 본딩 헤드의 하부면과 면 접촉되도록 상기 본딩 헤드의 하부면 형상에 대응하는 형상을 갖는 헤드 접촉부가 상향 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 시편
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제3항에 있어서,
상기 안착부는 사각 틀 형태를 가지며;
상기 변형부는 상기 시편 본체가 상하 이동 가능하도록 상기 시편 본체의 네 모서리 영역을 각각 상기 안착부의 내측 네 모서리 영역에 연결하는 네 개의 변형빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 시편
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변형부의 두께는 상기 본딩 헤드의 가압에 의해 탄성적으로 변형되어 상기 시편 본체가 이동 가능하도록 상기 시편 본체의 두께보다 상대적으로 얇게 마련되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 시편
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제6항에 있어서,
상기 안착부의 하부면에는 자성체가 수용되는 자석 수용홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 시편
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백업 플레이트와 본딩 헤드를 갖는 본딩 장치에서 상기 본딩 헤드의 압력 분포를 측정하기 위한 압력 분포 측정 장치에 있어서,
상기 백업 플레이트에 안착되는 안착부와, 상기 본딩 헤드가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동할 때 상기 본딩 헤드에 의해 가압되어 상기 백업 플레이트 방향으로 이동하는 시편 본체와, 상기 본딩 헤드의 가압에 의해 상기 시편 본체가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동 가능하도록 상기 안착부와 상기 시편 본체를 연결하는 변형부를 갖는 압력 분포 측정 시편과,
상기 변형부에 설치되어 상기 본딩 헤드의 가압에 따른 상기 변형부의 변형 정도를 감지하는 변형 감지부와,
상기 변형 감지부에 의해 감지된 상기 변형부의 변형 정도에 기초하여 상기 백업 플레이트와 상기 본딩 헤드 간의 압력 분포를 검출하는 검출 제어부를 포함하며;
상기 시편 본체는,
상기 본딩 헤드가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동할 때 상기 본딩 헤드의 하부면이 접촉되는 헤드 접촉바와,
상기 헤드 접촉바의 일측 가장자리 영역으로부터 T 자 형태로 연장된 한 쌍의 제1 연장부와,
상기 헤드 접촉바의 타측 가장자리 영역으로부터 T 자 형태로 연장된 한 쌍의 제2 연장부를 포함하며;
상기 변형부는,
상기 한 쌍의 제1 연장부 중 어느 하나와 상기 한 쌍의 제2 연장부 중 어느 하나를 연결하는 제1 변형빔부와, 상기 안착부와 상기 시편 본체가 소정 간격 이격되도록 상기 제1 변형빔부의 하부면 중앙 부분으로부터 연장되어 상기 안착부의 상부면과 연결된 제1 지지부를 갖는 제1 변형빔과,
상기 한 쌍의 제1 연장부 중 다른 하나와 상기 한 쌍의 제2 연장부 중 다른 하나를 연결하는 제2 변형빔부와, 상기 안착부와 상기 시편 본체가 소정 간격 이격되도록 상기 제2 변형빔부의 하부면 중앙 부분으로부터 연장되어 상기 안착부의 상부면과 연결된 제2 지지부를 갖는 제2 변형빔을 포함하며;
상기 본딩 헤드가 상기 시편 본체를 가압할 때 상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부를 중심으로 상기 제1 변형빔부 및 상기 제2 변형빔부의 양측이 탄성적으로 변형되어 상기 시편 본체가 상기 백업 플레이트 방향으로 이동하며;
상기 변형 감지부는 상기 제1 지지부를 중심으로 상기 제1 변형빔부의 양측에 각각 설치되는 제1 스트레인 게이지 및 제2 스트레인 게이지와, 상기 제2 지지부를 중심으로 상기 제2 변형빔부의 양측에 각각 설치되는 제3 스트레인 게이지 및 제4 스트레인 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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제8항에 있어서,
상기 변형 감지부는 상기 본딩 헤드의 가압에 따른 상기 변형부의 변형 정도를 감지하기 위한 스트레인 게이지 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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제9항에 있어서,
상기 변형부는 상기 시편 본체의 이동에 따라 탄성적으로 변형되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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제10항에 있어서,
상기 시편 본체의 상기 헤드 접촉바에는 상기 본딩 헤드의 하부면과 면 접촉되도록 상기 본딩 헤드의 하부면 형상에 대응하는 형상을 갖는 본딩 헤드 접촉부가 상향 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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제10항에 있어서,
상기 안착부는 사각 틀 형태를 가지며;
상기 변형부는 상기 시편 본체는 상기 안착부의 내부에서 상하 이동 가능하도록 상기 안착부의 4 모서리 영역을 각각 상기 안착부의 4 모서리 영역에 연결하는 4 개의 변형빔을 포함하며;
상기 변형 감지부는 상기 4개의 변형빔에 각각 설치되는 4개의 스트레인 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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제8항, 제9항, 제10항, 제12항, 또는 제13항에 있어서,
상기 변형부의 두께는 상기 본딩 헤드의 가압에 의해 탄성적으로 변형되어 상기 시편 본체가 이동 가능하도록 상기 시편 본체의 두께보다 상대적으로 얇게 마련되는 것을 특징으로 하는 압력 분포 측정 장치
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