| 요약 |
본 발명은, 몸체를 이루는 테이블; 상기 테이블의 상단에 설치되고, 글래스 기판을 상기 테이블의 일측으로부터 타측으로 이송하는 플로팅스테이지가 복수개 구비되는 플로팅스테이지유닛; 상기 플로팅스테이지유닛을 통하여 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 글래스 기판의 편평도를 측정하는 측정유닛; 상기 테이블의 양 측단에 지지되어, 상기 측정유닛을 상기 테이블의 가로방향으로 이동시키는 갠트리유닛; 및 상기 측정유닛에서 측정한 글래스 기판의 편평도를 화면에 표시하는 디스플레이부를 포함하며, 상기 각 플로팅스테이지는 에어블 분출 및 흡입하여 상기 글래스 기판이 상기 플로팅스테이지유닛의 상면으로 부상하도록 하는 에어플로팅유닛을 더 포함하고, 상기 에어플로팅유닛은, 상기 플로팅스테이지의 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 플로팅스테이지의 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함하고, 상기 에어분사유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며, 상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하며 배출하는 진공펌프유닛을 포함하고, 상기 블로잉챔버의 단면은 원통형상이고, 상기 흡입챔버의 단면은 직사각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 글래스 검사 장치를 제공한다.따라서, 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판의 직각방향으로 측정유닛이 이동하면서 글래스 기판을 검사하도록 하여 정밀한 측정이 가능하도록 하였고, 다양한 크기의 글래스 기판에 대하여 정밀한 에어압을 분사하여 이송시 글래스 기판의 파손 등을 방지할 수 있으며, 플로팅스테이지 유닛에서 방출되는 에어압으로 인하여 글래스 기판의 중앙부 처짐현상을 방지하여 정밀한 평탄도 측정이 가능하도록 하였다.
|
