| 1 |
1
반도체 장비의 내부를 청소하도록 상기 반도체 장비의 내부에 있는 불순물을 제거하는 것에 있어서, 일정한 길이로 형성됨과 함께 일단부에 나사산을 갖는 손잡이부; 상기 손잡이부에 착탈가능하게 결합되도록 상기 손잡이부의 일단부에 결합 및 분리되는 결합부와, 상기 결합부의 일단부에 결합되어 반도체 장비의 내부에 있는 불순물을 제거하기 위한 세척액이 묻혀 진 세척뭉치부로 이루어진 세척부;로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 손잡이부의 일단부와 상기 세척부 사이에는 불순물 제거장치의 전체적인 길이를 길게 형성하기 위하여 양단부가 상기 손잡이부와 상기 세척부의 결합부에 결합 및 분리되도록 나사산이 각각 형성된 연결대가 더 구비됨을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 연결대의 길이는 0
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 세척부의 세척뭉치부는 반도체 장비의 내부 구조에 따라 불순물을 제거하기 위하여 원형형상이나 다각형상 및 단부가 뾰족한 형상 또는 불규칙 형상 중 어느 하나로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 세척부의 세척뭉치부는 폴리에스테르(polyester) 및 천의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 6 |
6
제 4 항에 있어서, 상기 세척부의 세척뭉치부는 외면을 폴리에스테르(polyester) 및 천으로 감싸면서 결합된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 손잡이부와 상기 세척부는 테프론 재질로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 손잡이부의 타단부에는 작업자가 손으로 잡도록 하는 손잡이가 결합됨을 특징으로 하는 반도체 장비용 불순물 제거장치
|
