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미세 광축조정장치

  • 기술번호 : KST2015202860
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 광축조정장치 및 이를 포함한 열전계방출형 건모듈 장치에 관한 것이다.본 발명의 미세 광축조정장치는, 발생된 전자가 통과하여 방출되면서 전자빔이 되도록 하는 전자빔방출홀을 갖는 써멀필드이미션팁(thermal field emissoin tip)을 평면상의 X축에 해당하는 좌, 우 방향으로 이동시킬 수 있는 좌우방향이동수단;과 써멀필드이미션팁을 평면상의 Y축 방향에 해당하는 전,후 방향으로 이동시킬 수 있는 전후방향이동수단;을 포함하여 구성된다. 본 발명의 미세 광축조정장치는, 전자빔방출부 전체를 움직이는 것이 아니라 전자빔방출홀을 갖는 써멀필드이미션팁(thermal field emissoin tip)만을 평면상의 X축과 Y축 방향으로 이동시켜 광축의 조정작업이 이루어지도록 하는 것이므로 광축을 일치시키는 작업이 용이하고 작업이 신속하게 이루어지며, 부피가 작은 특징이 있다.본 발명의 좌우방향이동수단이나 전후방향이동수단을 구현함에 있어 벨로즈, 조정볼트, 탄성체, 연결축을 갖는 형태로 이루어진 경우 구조가 간단하고 더욱 더 소형화가 가능한 특징이 있다.
Int. CL H01J 37/15 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020120081214 (2012.07.25)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0015832 (2014.02.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.25)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박만진 대한민국 서울 은평구
2 장동영 대한민국 서울특별시 송파구
3 김기환 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0595145-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.26 수리 (Accepted) 9-1-2013-0070659-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0607191-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0987460-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0987468-11
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0225756-86
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0515642-13
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0515643-58
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0419508-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자현미경의 광축을 일치시키기 위한 광축 조정장치에 있어서,발생된 전자가 통과하여 방출되면서 전자빔이 되도록 하는 전자빔방출홀(2a)을 갖는 써멀필드이미션팁(2, thermal field emissoin tip)을 평면상의 X축에 해당하는 좌, 우 방향으로 이동시킬 수 있는 좌우방향이동수단(10);상기 써멀필드이미션팁(2)을 평면상의 Y축 방향에 해당하는 전,후 방향으로 이동시킬 수 있는 전후방향이동수단(20);을 포함하여 구성된 미세 광축 조정장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 좌우방향이동수단(10)이나 전후방향이동수단(20)은 진공을 형성하면서 내부에 써멀필드이미션팁(2)을 내장하고 있는 하우징(3)의 홀(3a)을 차단하여 하우징(3)의 내부가 진공상태를 유지하도록 하면서 하우징(3)의 내부와 외부를 연결하고 있는 벨로즈(11, 21, bellows);상기 벨로즈(11, 21)와 연결되어 벨로즈(11, 21)가 써멀필드이미션팁(2) 방향으로 늘어나도록 하는 조정볼트(12, 22);상기 써멀필드이미션팁(2)을 조정볼트(12) 방향으로 이동시키고 있는 탄성체(13, 23);어느 한쪽은 벨로즈(11, 21)와 연결되고 다른 한쪽은 써멀필드이미션팁(2)과 연결되어 있어 조정볼트(12)의 회전에 의해 벨로즈(11, 21)가 써멀필드이미션팁(2) 방향으로 늘어나면 상기 탄성체(13)를 수축시키면서 써멀필드이미션팁(2)을 이동시키는 연결축(14, 24);을 포함하여 구성된 미세 광축 조정장치
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 연결축(14, 24)은 절연체인 것을 특징으로 하는 미세 광축 조정장치
4 4
제 1항 또는 제 2항에 기재된 미세 광축조정장치를 포함한 열전계방출형 건모듈 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.