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공진 주파수 신호를 입력받아 시료편(300)에 각각 상하방향으로 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버(123)와 시료 가진부(310)가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서,상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)를 진동시키는 함수발생부(210)와, 상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)에 발생되는 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부(220)를 포함하는 제어구동부(100);상기 캔틸레버(123)의 표면에 정렬된 레이저(Laser)로부터 조사되어 상기 시료편(300)에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버(123)의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부(140)와, 상기 캔틸레버(123)의 상기 시료편(300)에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부(120)를 포함하는 변위측정부(200); 및상기 제어구동부(100) 및 상기 변위측정부(200)의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부(220)에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부(200)에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편(300)의 표면 이미지와 표면의 탄성 특성 이미지 및 표층부의 이미지를 생성할 수 있는 마이컴(400)을 포함하고,상기 함수발생부(210)에 연결되는 캔틸레버(123)의 지지부와 시료 가진부에 압전소자가 각각 설치되어 있고, 상기 캔틸레버(123)는 상기 지지부의 진동에 의하여 진동되고, 상기 시료편(300)은 상기 시료 가진부(310)에 의하여 진동되며,상기 지지부는 에폭시계 수지에 경화제 및 첨가제를 부가한 보조 조성물로 이루어지되, 상기 첨가제는 이산화규소(silicon dioxide, SiO2)를 포함하는 보강제, 규사(Silica)를 포함하는 증량제, 및 희석제로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 초음파 원자현미경장치
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