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초음파 원자현미경장치

  • 기술번호 : KST2015202987
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파 원자현미경장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 초음파 원자현미경장치는, 공진 주파수 신호를 입력받아 시료편에 각각 상하 방향으로 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버와 시료 가진부가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서, 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부를 진동시키는 함수발생부와, 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부에 발생되는 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부를 포함하는 제어구동부; 상기 캔틸레버의 표면에 정렬된 레이저로부터 조사되어 상기 시료편에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부와, 상기 캔틸레버의 상기 시료편에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부를 포함하는 변위측정부; 및 상기 제어구동부 및 상기 변위측정부의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편의 표면 이미지와 표면의 탄성특성 이미지 및 표층부 이미지를 생성할 수 있는 마이컴을 포함할 수 있다.
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01)
CPC G01Q 60/42(2013.01) G01Q 60/42(2013.01) G01Q 60/42(2013.01)
출원번호/일자 1020120054608 (2012.05.23)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1410221-0000 (2014.06.16)
공개번호/일자 10-2013-0130938 (2013.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20140620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박익근 대한민국 서울특별시 노원구
2 박태성 대한민국 서울특별시 도봉구
3 곽동열 대한민국 서울특별시 성북구
4 김용권 대한민국 경기 남양주시 평내로 **, *
5 홍재완 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박윤호 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, 중앙빌딩 ***호 유노국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0411637-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.10.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.25 수리 (Accepted) 9-1-2013-0089256-84
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0829985-90
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0015747-14
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0015748-59
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0357216-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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공진 주파수 신호를 입력받아 시료편(300)에 각각 상하방향으로 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버(123)와 시료 가진부(310)가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서,상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)를 진동시키는 함수발생부(210)와, 상기 캔틸레버(123)와 상기 시료 가진부(310)에 발생되는 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부(220)를 포함하는 제어구동부(100);상기 캔틸레버(123)의 표면에 정렬된 레이저(Laser)로부터 조사되어 상기 시료편(300)에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버(123)의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부(140)와, 상기 캔틸레버(123)의 상기 시료편(300)에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부(120)를 포함하는 변위측정부(200); 및상기 제어구동부(100) 및 상기 변위측정부(200)의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부(220)에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부(200)에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편(300)의 표면 이미지와 표면의 탄성 특성 이미지 및 표층부의 이미지를 생성할 수 있는 마이컴(400)을 포함하고,상기 함수발생부(210)에 연결되는 캔틸레버(123)의 지지부와 시료 가진부에 압전소자가 각각 설치되어 있고, 상기 캔틸레버(123)는 상기 지지부의 진동에 의하여 진동되고, 상기 시료편(300)은 상기 시료 가진부(310)에 의하여 진동되며,상기 지지부는 에폭시계 수지에 경화제 및 첨가제를 부가한 보조 조성물로 이루어지되, 상기 첨가제는 이산화규소(silicon dioxide, SiO2)를 포함하는 보강제, 규사(Silica)를 포함하는 증량제, 및 희석제로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 초음파 원자현미경장치
2 2
제1항에 있어서,상기 캔틸레버(123)와 상기 시료편(300) 사이에서 발생되는 접촉 공진주파수의 진동신호에 의하여 상기 시료편(300)의 토포그래피를 획득하는 영상획득부; 및상기 캔틸레버(123)의 이동을 조절하여 상기 시료편(300)의 토포그래피의 정밀도를 제어하는 영상제어부;를 더 포함하는 초음파 원자현미경장치
3 3
제1항에 있어서,상기 변위센서는 복수 개의 광학 빔-변위 센서인 초음파 원자현미경장치
4 4
제1항에 있어서,상기 나노크기의 시료편(300)의 표면 이미지와 표면의 탄성특성 이미지 및 표층부 이미지는 상기 락-인 증폭부(220)에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부(200)에 의하여 감지된 변위정보에 대한 신호의 차이를 이용하여 생성된 진폭 및 위상 이미지인 초음파 원자현미경장치
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패밀리정보가 없습니다
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