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시험편(77)의 표면직하 및 표면에서의 구조를 시각화하기 위한 하이브리드 광학 음향장치에 있어서,표준신호 발생기(71)에 의하여 발생된 고주파 톤 버스트 파가 펄스변조기(72)에 의하여 변환되고, 상기 변환된 톤 버스트 파가 선택스위치(73)를 통하여 압전소자(74)로 공급되어 음향렌즈(75)에 의하여 작은 영역으로 집속되어 초음파로 변환되며, 상기 시험편(77)은 Z 스테이지(81)에 부착된 음향렌즈(75)의 초점 부근이고, 또한 X-Y 스테이지(79)에 부착된 시험테이블(78)에 배치되고, 상기 음향렌즈(75)와 시험편(77)의 사이는 접촉매질(76)로 채워지며, 상기 Z 스테이지(81)와 X-Y 스테이지(79)는 주 제어부(82)와 연결되어 상기 시험편(77)과 음향렌즈(75)를 3축으로 이동이 가능하며, 상기 선택스위치(73)는 압전소자(74), 펄스변조기(72) 및 증폭기(83)와 연결되고, 상기 압전소자(74)에 의해 선택적으로 상기 펄스변조기(72)와 증폭기(83) 중 하나와 연결되고, 상기 증폭기(83)는 배율기들(84,85,86,87)과 연결되되, 그 중 배율기(84,85)는 위상변환기(88)와 하이브리드(89)에 연결되고, 배율기(86, 87)는 위상변환기(90)와 하이브리드(91)에 연결되어
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제1항에 있어서,상기 선택 스위치(73)는 상기 펄스 발생기(72)와 압전소자(74)에 연결된 주제어부(82)로부터 나오는 트리거 신호를 통하여 전환되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 음향이미지장치
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제1항에 있어서,상기 압전소자(74)는 상기 음향렌즈(75)의 제1 및 제2 경로를 통하여 초음파를 전기적 신호로 변환시키되,상기 제1 경로를 지난 초음파는 상기 음향렌즈(75)에 의하여 집속되어 상기 시험편(77)에 입사되고, 상기 시험편(77)에서 반사되는 시험편 반사파이며,상기 제2 경로는 지난 초음파는 상기 시험편(77)에 조사되어 상기 음향렌즈(75)의 평면과, 상기 접촉매질(76), 상기 시험편(77)의 표면에 반사되는 평면 반사파인 것을 특징으로 하는 하이브리드 음향이미지장치
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제1항에 있어서,상기 위상변환기(88, 90)는 입력된 파형을 90도 위상 변환하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 음향이미지장치
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제3항에 있어서,상기 샘플및홀더회로(96,97)는 시간에 따라 상기 평면반사파를 선택하고, 상기 선택된 신호를 유지시키되, 상기 선택된 신호는 상기 평면반사파의 직교위상성분과 동상이고,상기 샘플및홀더회로(98,99)는 시간에 따라 상기 평면반사파를 선택하고, 상기 선택된 신호를 유지시키되, 상기 선택된 신호는 상기 시험편반사파의 직교위상성분과 동상인 것을 특징으로 하는 하이브리드 음향이미지장치
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