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전기장 형성방식의 렌즈를 갖는 전자현미경

  • 기술번호 : KST2015203042
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기장 형성방식의 렌즈를 갖는 전자현미경에 관한 것이다. 본 발명의 전자현미경은, 전자빔이 통과되도록 전자빔통과홀을 갖는 렌즈몸체를 가지며, 상기 렌즈몸체 중 전자빔통과홀을 중심으로 대칭인 지점에 그라운드처리부를 갖는 전기장 형성방식을 통해 전자빔을 모아주는 콘덴서 렌즈(Condenser Lens)와 오브젝티브 렌즈(Objective Lens)를 갖는 구조이다. 본 발명의 전자현미경에는 전자빔을 모아주기 위해 고전압을 인가하는 콘덴서 렌즈(Condenser Lens)와 오브젝티브 렌즈(Objective Lens)가 구비되어 있되 자기장을 형성하는 방식이 아닌 전기장을 형성하는 방식으로 구현되어 있어 콘덴서 렌즈(Condenser Lens)와 오브젝티브 렌즈(Objective Lens)가 소형화되고, 이로 인해 전자현미경의 전체적인 크기가 소형화되는 특징이 있다.
Int. CL H01J 37/12 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01) H01J 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020120081216 (2012.07.25)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0015834 (2014.02.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박만진 대한민국 서울 은평구
2 장동영 대한민국 서울특별시 송파구
3 김승재 대한민국 경기 광명시 신

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0595147-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079935-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0903081-56
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0198647-37
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0300066-37
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0300067-83
8 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2014.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2014-0025569-87
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0687288-22
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자빔의 모아주기 위해 고전압을 인가하는 콘덴서 렌즈(Condenser Lens)와 오브젝티브 렌즈(Objective Lens)를 갖는 전자현미경에 있어서,전자빔이 통과되도록 전자빔통과홀(11a, 21a)을 갖는 렌즈몸체(11, 21)를 가지며, 상기 렌즈몸체(11, 21) 중 전자빔통과홀(11a, 21a)을 중심으로 대칭인 지점에 그라운드처리부(12, 22)를 갖는 전기장 형성방식을 통해 전자빔을 모아주는 콘덴서 렌즈(10, Condenser Lens)와 오브젝티브 렌즈(20, Objective Lens)를 갖는 것을 특징으로 하는, 전기장 형성방식의 렌즈를 갖는 전자현미경
2 2
제 1항에 있어서,관찰을 위한 물체에 전자빔이 조사되도록 하여 스캐닝이 이루어지도록 하는 쿼더플 디플렉터(30, Quadruple Deflectol)는 디플렉터몸체(31)의 전자빔통과홀(31a)을 중심으로 대칭인 지점에 그라운드처리부(32)를 갖는 전기장 형성방식으로 구현된 것을 특징으로 하는, 전기장 형성방식의 렌즈를 갖는 전자현미경
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,주사전자현미경이나 투과전자현미경인 것은 특징으로 하는, 전기장 형성방식의 렌즈를 갖는 전자현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.