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미세패턴 곡면 형성장치 및 이를 이용한 미세패턴 곡면 형성방법

  • 기술번호 : KST2015203077
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시형태에 따른 미세패턴 곡면 형성장치는, 모루, 상기 모루 상에 배치된 금형, 상기 금형 상에 배치되는 소재, 상기 금형과 별도로 설치되어 상기 소재에 초음파 진동에너지를 인가하는 혼을 포함하는 미세패턴 곡면 형성장치에 있어서, 상기 금형은 미세패턴이 형성되어 있지 않은 연성재질의 금형이고, 상기 소재의 하단에는 미세패턴이 기 형성되어 있고, 상기 혼의 끝단은 곡면부로 되고, 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위와 상기 연성재질의 금형이 직접 접촉하고, 상기 혼으로 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위의 반대면에 상기 초음파 진동 에너지를 인가하고, 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위가 상기 혼의 끝단의 상기 곡면부에 대응하여 상기 연성재질의 금형과의 접촉을 통해 상기 미세패턴의 손상 없이 곡면으로 형성된다.
Int. CL H01L 21/48 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/449 (2006.01)
CPC H01L 21/449(2013.01) H01L 21/449(2013.01)
출원번호/일자 1020150042193 (2015.03.26)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1554528-0000 (2015.09.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.03.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박근 대한민국 서울시 송파구
2 박종한 대한민국 경기도 의정부시 호암로 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0296123-36
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0295748-83
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.05.04 수리 (Accepted) 9-1-2015-0029349-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0333653-72
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0658592-16
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0658591-71
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0517416-28
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.09.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0851722-94
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0624711-70
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0889955-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모루, 상기 모루 상에 배치된 금형, 상기 금형 상에 배치되는 소재, 상기 금형과 별도로 설치되어 상기 소재에 초음파 진동에너지를 인가하는 혼을 포함하는 미세패턴 곡면 형성장치에 있어서,상기 금형은 미세패턴이 형성되어 있지 않은 연성재질의 금형이고,상기 소재의 하단에는 미세패턴이 기 형성되어 있고,상기 혼의 끝단은 곡면부로 되고,상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위와 상기 연성재질의 금형이 직접 접촉하고,상기 혼으로 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위의 반대면에 상기 초음파 진동 에너지를 인가하고,상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위가 상기 혼의 끝단의 상기 곡면부에 대응하여 상기 연성재질의 금형과의 접촉을 통해 상기 미세패턴의 손상 없이 곡면으로 형성되는, 미세패턴 곡면 형성장치
2 2
제1항에 있어서,상기 연성재질의 금형의 표면경도는 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위의 표면경도보다 낮고, 상기 연성재질의 금형의 탄성계수는 상기 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위의 탄성계수보다 작은, 미세패턴 곡면 형성장치
3 3
제1항에 있어서,상기 모루의 상면 중앙에는 상기 연성재질의 금형에 대응하는 형상의 오목부가 형성되고,상기 연성재질의 금형은 상기 오목부에 삽입되어 상기 미세패턴이 형성된 부위와 접촉하는, 미세패턴 곡면 형성장치
4 4
미세패턴이 형성된 소재를, 미세패턴이 형성되어 있지 않은 연성재질의 금형 상에, 상기 미세패턴이 형성된 부위와 상기 연성재질의 금형이 직접 접촉하도록 배치하는 배치단계; 및상기 금형과 별도로 설치되고, 그 끝단이 곡면부로 된 혼으로 상기 미세패턴이 형성된 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위의 반대면에 초음파 진동에너지를 인가하여 상기 미세패턴이 형성된 소재의 상기 미세패턴이 형성된 부위가 상기 혼의 끝단의 상기 곡면부에 대응하여 상기 연성재질의 금형과의 접촉을 통해 상기 미세패턴의 손상 없이 곡면으로 형성되도록 하는 곡면 형성단계;를 포함하는, 미세패턴 곡면 형성방법
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1 교육부 서울과학기술대학교 산학협력단 일반연구지원사업 초음파 임프린팅을 사용한 Micro/Nano 기능성 미세패턴 성형기술 개발