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가스센서 및 그 제조방법
- 기술번호 : KST2015203169
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 본 발명에 따른 가스센서 제조방법은 a) 기판 상 도포된 제1포토레지스트를 노광 및 현상하여, 서로 이격된 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극을 서로 연결하는 포토레지스트와이어를 형성하는 단계; b) 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 포토레지스트와이어를 열분해하여, 서로 연결되어 일체화된 한 쌍의 탄소전극 및 탄소와이어를 형성하는 단계; c) 한 쌍의 탄소전극 및 탄소와이어가 형성된 기판 상 제2포토레지스트를 도포하고 노광 및 현상하여 상기 한 쌍의 탄소전극을 덮고 상기 탄소와이어를 노출하는 포토레지스트희생층을 형성하는 단계; d) 상기 포토레지스트희생층에 의해 노출된 탄소와이어에 금속산화물 시드를 형성한 후, 포토레지스트희생층을 제거하는 단계; 및 e) 상기 금속산화물 시드를 성장시켜 상기 탄소와이어 표면에 금속산화물나노와이어를 형성하는 단계;를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 27/12 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) C01B 31/02 (2006.01.01) C30B 1/02 (2006.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
| CPC | G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020130104283 (2013.08.30) |
| 출원인 | 에스케이이노베이션 주식회사, 울산과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-2131412-0000 (2020.07.01) |
| 공개번호/일자 | 10-2015-0026012 (2015.03.11) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20200805) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2018.08.30) |
| 심사청구항수 | 11 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 |
| 2 | 울산과학기술원 | 대한민국 | 울산광역시 울주군 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 신흥주 | 대한민국 | 울산광역시 울주군 |
| 2 | 임영진 | 대한민국 | 부산광역시 사하구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 플러스 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층 |
| 2 | 김종관 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 3 | 박창희 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 4 | 권오식 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 서울특별시 종로구 | |
| 2 | 울산과학기술원 | 울산광역시 울주군 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0796144-10 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2013.09.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0109125-11 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0857220-46 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.12.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5176347-51 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2016.02.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0129672-42 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2016.05.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0511160-94 |
| 7 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2018.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0863290-01 |
| 8 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number) |
2018.09.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0899507-01 |
| 9 | 보정요구서 Request for Amendment |
2018.09.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2018-0142635-86 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.12.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5260828-53 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.12.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5263004-74 |
| 12 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2019.12.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0905528-27 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2020.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0157007-39 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2020.02.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2020-0156970-04 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2020.06.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0431617-77 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.07.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5148444-43 |
| 17 | [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정) |
2020.07.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2020-5018035-75 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.08.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5186266-03 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 a) 기판 상 도포된 제1포토레지스트를 노광 및 현상하여, 서로 이격된 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극을 서로 연결하는 포토레지스트와이어를 형성하는 단계;b) 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 포토레지스트와이어를 열분해하여, 서로 연결되어 일체화된 한 쌍의 탄소전극 및 탄소와이어를 형성하는 단계;c) 한 쌍의 탄소전극 및 탄소와이어가 형성된 기판 상 제2포토레지스트를 도포하고 노광 및 현상하여 상기 한 쌍의 탄소전극을 덮고 상기 탄소와이어를 노출하는 포토레지스트희생층을 형성하는 단계;d) 상기 포토레지스트희생층에 의해 노출된 탄소와이어에 금속산화물 시드를 형성한 후, 포토레지스트희생층을 제거하는 단계; 및e) 상기 금속산화물 시드를 성장시켜 상기 탄소와이어 표면을 감싸도록 방사상의 금속산화물나노와이어를 형성하는 단계;를 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 금속산화물나노와이어는 상기 탄소와이어에서 발생하는 줄열에 의해 성장된 것인 가스센서 제조방법 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서,상기 a) 단계는a1) 절연막이 형성된 기재 상 제1-1포토레지스트를 도포한 후, 노광 및 현상하여, 상기 센싱영역에 위치하는 절연막 영역이 노출된 절연막에칭마스크를 형성하는 단계;a2) 상기 절연막에칭마스크를 이용하여 센싱영역에 위치하는 절연막 영역을 제거하고 절연막에칭마스크를 제거하는 단계; a3) 상기 센싱영역에 위치하는 절연막 영역이 제거된 절연막을 기재에칭마스크로하여, 상기 센싱영역에 위치하는 기재를 부분식각하여 요부홈을 형성하는 단계; 및a4) 요부홈이 형성된 기재를 기판으로, 기판 상 상기 제1포토레지스트를 도포하는 단계;를 더 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 4 |
4 제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 e) 단계의 성장은 금속산화물 전구체와 상기 탄소와이어를 접촉시킨 후, 탄소와이어에서 발생하는 줄열에 의해, 상기 시드로부터 단결정체의 금속산화물 나노와이어가 형성되는 가스센서 제조방법 |
| 5 |
5 제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 a) 단계는기판 상 제1포토레지스트를 도포하는 단계;서로 이격 대향하는 한 쌍의 전극과 대응하는 형상을 갖는 전극형성용 포토마스크를 이용하여 제1포토레지스트를 노광하는 단계;와이어 형상을 갖는 와이어형성용 포토마스크를 이용하여 전극형성용 포토마스크에 의해 노광된 한 쌍의 노광 영역과 와이어형성용 포토마스크에 의해 노광되는 노광 영역이 서로 연결되도록 제1포토레지스트를 재노광하는 단계; 및재노광된 제1포토레지스트를 현상하여 서로 이격된 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극을 서로 연결하는 포토레지스트와이어를 형성하는 단계;를 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 6 |
6 제 5항에 있어서,상기 재노광시, 상기 제1포토레지스트의 표면영역이 부분적으로 노광되는 가스센서 제조방법 |
| 7 |
7 i) 요부홈이 형성된 기판 상에 도포된 제1포토레지스트를 노광 및 현상하여, 상기 요부홈을 사이에 두고 서로 이격된 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 요부홈 상부에 위치하며 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극을 서로 연결하는 포토레지스트와이어를 형성하는 단계; j) 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 포토레지스트와이어를 열분해하여, 서로 연결되어 일체화된 한 쌍의 탄소전극 및 탄소와이어를 형성하는 단계; 및k) 상기 탄소와이어 표면을 감싸도록 방사상의 금속산화물 나노와이어를 형성하는 단계;를 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 8 |
8 제 7항에 있어서,상기 k) 단계는k1) 탄소와이어 표면에 금속산화물 시드를 코팅하는 단계;k2) 금속산화물 전구체와 상기 탄소와이어를 접촉시킨 후, 탄소와이어에서 발생하는 줄열에 의해 상기 금속산화물 시드로부터 단결정체의 금속산화물 나노와이어를 성장시키는 단계;를 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 9 |
9 제 7항에 있어서, 상기 i) 단계는기판 상 제1포토레지스트를 도포하는 단계;서로 이격 대향하는 한 쌍의 전극과 대응하는 형상을 갖는 전극형성용 포토마스크를 이용하여 제1포토레지스트를 노광하는 단계;와이어 형상을 갖는 와이어형성용 포토마스크를 이용하여 전극형성용 포토마스크에 의해 노광된 한 쌍의 노광 영역과 와이어형성용 포토마스크에 의해 노광되는 노광 영역이 서로 연결되도록 제1포토레지스트를 재노광하는 단계; 및재노광된 제1포토레지스트를 현상하여 서로 이격된 한 쌍의 포토레지스트 전극 및 상기 한 쌍의 포토레지스트 전극을 서로 연결하는 포토레지스트와이어를 형성하는 단계;를 포함하는 가스센서 제조방법 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서,상기 재노광시, 상기 제1포토레지스트의 표면영역이 부분적으로 노광되는 가스센서 제조방법 |
| 11 |
11 제2항 또는 제8항에 있어서,상기 탄소와이어가 금속산화물 전구체 용액에 침지된 상태에서, 상기 탄소와이어의 줄열이 발생하는 가스센서 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR102125278 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 2 | US10132768 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | US20160169824 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | WO2015030528 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 | ||||
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-2131412-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20130830 출원 번호 : 1020130104283 공고 연월일 : 20200805 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20200624 청구범위의 항수 : 11 유별 : G01N 27/12 발명의 명칭 : 가스센서 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 울산과학기술원 울산광역시 울주군... |
| 1 |
(권리자) 에스케이이노베이션 주식회사 서울특별시 종로구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 474,000 원 | 2020년 07월 02일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0796144-10 |
| 2 | 보정요구서 | 2013.09.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0109125-11 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0857220-46 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.12.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5176347-51 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2016.02.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0129672-42 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2016.05.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0511160-94 |
| 7 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2018.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0863290-01 |
| 8 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) | 2018.09.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0899507-01 |
| 9 | 보정요구서 | 2018.09.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2018-0142635-86 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.12.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5260828-53 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.12.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5263004-74 |
| 12 | 의견제출통지서 | 2019.12.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0905528-27 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2020.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0157007-39 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 | 2020.02.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2020-0156970-04 |
| 15 | 등록결정서 | 2020.06.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0431617-77 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.07.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5148444-43 |
| 17 | [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정) | 2020.07.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2020-5018035-75 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.08.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5186266-03 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711008420 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 울산-001 |
| 연구과제명 | 울산과기대출연지원 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200701~999912 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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