맞춤기술찾기

이전대상기술

투과전자현미경용 시편 제작방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015203171
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투과전자현미경용 시편 제작방법 및 그 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 투과전자현미경용 시편 제작방법은, 시료와 혼합한 에폭시로 다층 실리콘 기판 사이를 접합시킨 뒤, 열과 압력을 가하여 경화시킨 적층 시료를 제조하고, 제조된 적층 시료를 소정 두께로 폴리싱하여, 폴리싱된 적층 시료를 적층 방향에 수직한 평향으로 디스크 형태로 커팅하여 구리 튜브에 채워넣은 디스크 형태의 시판을 제작한다, 그리고, 디스크 형태의 시판에서 특정 영역을 집속 이온빔을 이용하여 식각하여, 투과전자현미경용 시편을 제작한다. 본 발명에 따르면, 다공성 재료 및 섬유 재료에 대한 시편을 빠르게 제작할 수 있다.
Int. CL G01N 1/28 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC G01N 1/32(2013.01) G01N 1/32(2013.01)
출원번호/일자 1020130096891 (2013.08.14)
출원인 울산과학기술원 산학협력단
등록번호/일자 10-1494334-0000 (2015.02.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150223) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.14)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이종훈 대한민국 울산 울주군
2 김나연 대한민국 부산 북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0740233-29
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0022488-47
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0616545-19
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1075079-31
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-1075080-88
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0049355-31
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0086084-28
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.01.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0085949-38
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0085950-85
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.02.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0092413-90
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0282212-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투과전자현미경용 시편을 제작하기 위한 투과전자현미경 시편 제작방법에 있어서,시료와 혼합한 에폭시와 상기 시료와 다른 시료와 혼합한 에폭시 각각으로 다층 실리콘 기판 사이를 접합시킨 뒤, 열과 압력을 가하여 경화시킨 적층 시료를 제조하는 단계; 상기 적층 시료를 집속 이온빔에 적합한 두께로 폴리싱하는 단계; 상기 폴리싱 된 적층 시료를 적층 방향에 수직한 방향으로 상기 투과전자현미경용 시편 두께의 디스크 형태로 커팅하여 상기 투과전자현미경용 시편 두께의 구리 튜브에 채워 넣은 디스크 형태의 시편을 제작하는 단계; 및 상기 디스크 형태의 시판에서 특정 영역을 집속 이온빔을 이용하여 식각하여, 투과전자현미경용 시편을 제작하는 단계를 포함하는 투과전자현미경 시편 제작방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 시료는 분말 형태의 다공성 재료인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 시편 제작방법
4 4
제1항에 있어서,상기 시료는 섬유 재료인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 시편 제작방법
5 5
삭제
6 6
원통형상으로 내부에 길이방향을 따라 관통 형성 된 원통형의 수용공간에 시료와 혼합한 에폭시를 수용하는 몸체부;상기 수용공간의 상부에 슬라이딩 가능하게 삽입되어 하방으로 이동하면서 상기 수용공간에 수용된 상기 시료와 혼합한 에폭시의 상부에 압력을 가하는 상부가압부와, 상기 상부가압부의 상측에 결합하여 상기 상부가압부를 지지하는 상부지지부를 포함하는 상체부;상기 수용공간의 하부에 슬라이딩 가능하게 삽입되어 상방으로 이동하면서 상기 수용공간에 수용된 상기 시료와 혼합한 에폭시의 하부에 압력을 가하고, 상기 수용공간과 연통되어 상기 수용공간의 여분의 에폭시가 유입 및 배출되는 제1흡입유로가 형성된 하부가압부와, 상기 하부가압부의 하측에 결합하여 상기 하부가압부를 지지하고 상기 제1흡입유로와 연통되는 제2흡입유로가 형성된 하부지지부를 포함하는 하체부;상기 하부지지부와 연결되고 상기 제2흡입유로를 통하여 상기 수용공간의 에폭시를 흡입하여 상기 수용공간의 상기 에폭시를 부분적으로 제거하기 위한 베큠 펌프; 및상기 몸체부의 외주면을 따라 설치되어, 상기 수용공간에 열을 가하는 발열부를 포함하는 투과전자현미경 시편 제작장치
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 시료는, 분말 형태의 다공성 재료인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 시편 제작장치
9 9
제6항에 있어서,상기 시료는 섬유 재료인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 시편 제작장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2015023026 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2015023026 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 전자부품연구원 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업(반도체) HIGH 니켈계 양극 소재(NI≥0.6)의 고온(60도) 수명향상기술개발