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이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법

  • 기술번호 : KST2015203228
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 이송 대상물을 설정 위치로 이동시키기 위해 로봇 암에 상기 이송 대상물을 안착시키는 단계; 상기 로봇 암에 상호 이격되어 복수 개 구비된 접착 패드들이 상기 이송 대상물에 접착하는 단계; 상기 이송 대상물이 안착된 상기 로봇 암이 이동하여 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입되는 단계; 및 상기 이송 대상물을 상기 적층 컨테이너 내부에 안착시키고, 상기 이송 대상물과 상기 이송 대상물에 접착된 상기 접착 패드들이 분리되는 단계를 포함한다.
Int. CL B25J 9/04 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01)
출원번호/일자 1020140006270 (2014.01.17)
출원인 울산과학기술원 산학협력단, (주)엠프리시젼
등록번호/일자 10-1553826-0000 (2015.09.11)
공개번호/일자 10-2015-0086100 (2015.07.27) 문서열기
공고번호/일자 (20150917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군
2 (주)엠프리시젼 대한민국 경기 화성시 노작로 ***,

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정훈의 대한민국 울산광역시 울주군
2 문우영 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 양호식 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)엠프리시젼 대한민국 경기 화성시 노작로 ***,
2 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0051912-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0008732-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0312583-37
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0660535-27
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0660534-82
7 등록결정서
Decision to grant
2015.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0584313-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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이송장치를 이용하여 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 방법에 있어서,상기 이송 대상물을 설정 위치로 이동시키기 위해 로봇 암에 상기 이송 대상물을 안착시키는 단계;상기 로봇 암의 상면에 상호 이격되어 형성되는 각각의 홈의 내부에 각각 구비되는 접착 패드가 상기 이송 대상물에 접착하는 단계;상기 이송 대상물이 안착된 상기 로봇 암이 이동하여 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입되는 단계; 및상기 이송 대상물을 상기 적층 컨테이너 내부에 안착시키고, 상기 이송 대상물과 상기 이송 대상물에 접착된 상기 접착 패드들이 분리되는 단계를 포함하며,상기 적층 컨테이너는 상기 로봇 암을 향한 전면이 개구된 하우징 형태로 형성되며, 상기 적층 컨테이너의 내부 양 측면에는 상기 이송 대상물이 안착될 수 있는 트레이 바가 구비되되, 상기 적층 컨테이너의 높이 방향을 따라 상호 이격되고 상기 전면을 기준으로 상호 대칭되게 복수의 쌍으로 구비되며,상기 분리되는 단계에서는, 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입된 상기 로봇 암이 하부로 이동하면 상기 이송 대상물의 가장자리가 상기 트레이 바에 걸리면서 상기 접착 패드들이 상기 이송 대상물로부터 분리되고, 상기 이송 대상물은 상기 트레이 바에 안착되며,상기 접착 패드는, 베이스 부재; 및상기 베이스 부재 상에 다수의 열 및 다수의 칸을 이루도록 설정된 간격만큼 상호 이격된 복수 개의 미세섬모 구조물들을 포함하며,각각의 미세섬모 구조물은,상기 베이스 부재 상에 돌출 형성되되 상호 이격되어 복수 개가 배치되는 기둥부; 및상기 기둥부의 선단에 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 밀착하여 접촉되는 접촉부가 형성된 접촉부를 포함하고,상기 로봇 암에 상기 이송 대상물이 안착되기 전, 상기 미세섬모 구조물은 상기 접촉부의 돌기가 상기 로봇 암의 상면보다 돌출되되, 상기 접착 패드들이 상기 이송 대상물에 접착하면 상기 접촉부의 접착하는 면이 상기 로봇 암의 상면과 평탄해지는 이송장치를 이용한 이송 대상물의 이송방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 로봇 암은,일측이 본체에 결합되며, 상기 본체에 연동하여 수직 및 수평하게 이동하는 제1 암 플레이트;일측이 상기 제1 암 플레이트의 타측에 회전 가능하게 결합되되, 상기 제1 암 플레이트와 함께 상기 본체에 연동하여 수직 및 수평하게 이동하며 타측에는 상기 이송 대상물이 안착되는 제2 암 플레이트를 포함하고,상기 제2 암 플레이트의 타측에 상기 접착 패드가 구비되는 상기 홈이 상호 이격되어 형성되며, 상기 접착 패드가 상기 이송 대상물에 접착하면 상기 접촉부의 접착하는 면이 상기 제2 암 플레이트의 상면과 평탄해지는 이송장치를 이용한 이송 대상물의 이송방법
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청구항 1에 있어서,상기 미세섬모 구조물들의 설정된 간격과 개수는 상기 로봇 암에 안착되는 상기 이송 대상물의 중량, 크기 또는 상기 미세섬모 구조물의 크기에 따라 달라지는 이송장치를 이용한 이송 대상물의 이송방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 접촉부는 상기 이송 대상물이 접촉하는 면이 오목한 형태로 형성되며, 상기 접착하는 단계에서, 상기 이송 대상물의 상측으로 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 상기 접촉부 사이의 공기가 제거되면서 접착되는 이송장치를 이용한 이송 대상물의 이송방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.