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복수의 탄소나노물질들의 동시 합성을 이용한 탄소나노시트의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015203259
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 두가지 이상의 탄소나노물질을 동시 합성함으로써, 공정이 간단해지므로 비용이 절감될 수 있는 이점이 있다. 또한, 순차적 합성이나 추가 공정들에 의해 발생되는 나노소재의 특성 저하가 방지될 수 있으므로, 저비용 고성능의 전자소자의 생산이 가능한 이점이 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01)
CPC C01B 32/186(2013.01)
출원번호/일자 1020140022190 (2014.02.25)
출원인 울산과학기술원 산학협력단
등록번호/일자 10-1552955-0000 (2015.09.08)
공개번호/일자 10-2015-0100408 (2015.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20150914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박장웅 대한민국 울산광역시 울주군
2 이경수 대한민국 서울특별시 강서구
3 이미선 대한민국 경상남도 밀양시 삼문강변로 *
4 김민지 대한민국 울산광역시 남구
5 이희주 대한민국 경기도 안양시 동안구
6 김주희 대한민국 충청북도 충주시 금릉로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0185732-16
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0515327-35
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0098374-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0178367-71
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0366321-45
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0366319-53
8 등록결정서
Decision to grant
2015.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0409084-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0282212-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 중 적어도 일부분에 전도성을 갖는 제1탄소나노물질 합성을 위한 제1촉매를 증착하는 단계와;상기 기판 중 적어도 일부분에 반도체성을 갖는 제2탄소나노물질 합성을 위한 제2촉매를 증착하는 단계와;상기 기판에 전극소재의 상기 제1탄소나노물질과 반도체소재의 상기 제2탄소나노물질을 동시에 합성하는 단계를 포함하고,상기 제1탄소나노물질은 그래핀이고, 상기 제2탄소나노물질은 탄소나노튜브이며,상기 제1촉매는 전이금속을 포함하고, 상기 제2촉매는 철을 포함하고,상기 제1탄소나노물질과 상기 제2탄소나노물질을 동시에 합성하는 단계는, 열기상증착법을 이용하고,상기 제1탄소나노물질과 상기 제2탄소나노물질을 동시에 합성하는 단계는, 상기 제1탄소나노물질과 상기 제2탄소나노물질이 성장하는 성장공정을 포함하고, 상기 성장공정의 합성 온도는 915도 내지 935도 범위내이고, 합성 시간은 4분 내지 6분 범위 이내로 설정되는 복수의 탄소나노물질들의 동시 합성을 이용한 탄소나노시트의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 기판에 상기 제1촉매와 상기 제2촉매를 증착하기 이전에 산화막을 증착하는 단계를 더 포함하는 복수의 탄소나노물질들의 동시 합성을 이용한 탄소나노시트의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1촉매와 상기 제2촉매를 증착하는 단계는, 각각 상기 기판의 상면에 포토 레지스트액을 코팅한 후, 포토리소그래피 공정을 통해 원하는 패턴을 형성하고 상기 패턴에 열증착을 통해 상기 제1촉매 또는 상기 제2촉매를 증착하는 복수의 탄소나노물질들의 동시 합성을 이용한 탄소나노시트의 제조방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 울산과학기술대학교 산학협력단 그래핀소재부품상용화기술개발 900X1600 mm2급 대면적 1nm이하 초박막 그래핀 합성기술 및 그래핀 유연 터치패널 상용화