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이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서,베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들의 높이와 동일하거나, 상기 미세섬모 구조물들의 설정 높이만큼 낮으면서 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며, 횡단면 폭 너비가 상기 미세섬모 구조물의 횡단면 폭 너비보다 크게 형성되는 격벽을 포함하며,상기 미세섬모 구조물들이 상기 이송 대상물과 분리 시 발생되는 응력 및 마찰력이 상기 격벽으로 분산되는 이송장치용 흡착패드
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청구항 1에 있어서,상기 격벽은 상기 가장자리 영역만큼 상기 베이스 플레이트 상에 돌출되어 연장 형성되는 이송장치용 흡착패드
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이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서,베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어 상기 이송 대상물에 흡착되고, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 손상방지 미세섬모 구조물들을 포함하며,상기 손상방지 미세섬모 구조물들의 높이는 상기 미세섬모 구조물들의 높이와 동일하게 형성되고,흡착된 상기 이송 대상물과 분리될 때, 상기 가장자리 영역에 발생되는 응력 및 마찰력에 버티는 힘이 더 크도록 상기 손상방지 미세섬모 구조물의 횡단면적의 크기는 상기 미세섬모 구조물의 횡단면적의 크기보다 크게 형성되는 이송장치용 흡착패드
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청구항 4에 있어서,상기 손상방지 미세섬모 구조물들의 배열 피치는 상기 중앙 영역에 설치된 상기 미세섬모 구조물들의 배열 피치와 동일하게 형성되는 이송장치용 흡착패드
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청구항 1에 있어서,상기 미세섬모 구조물은,상기 베이스 플레이트 상에 수직하게 세워져 설치되는 기둥부; 및상기 기둥부의 선단에 구비되어, 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 밀착하여 접촉되는 접촉부를 포함하는 이송장치용 흡착패드
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청구항 4에 있어서,상기 미세섬모 구조물 및 상기 손상방지 미세섬모 구조물은,상기 베이스 플레이트 상에 수직하게 세워져 설치되는 기둥부; 및상기 기둥부의 선단에 구비되어, 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 밀착하여 접촉되는 접촉부를 포함하는 이송장치용 흡착패드
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청구항 11 또는 청구항 12에 있어서,상기 접촉부는 상기 이송 대상물과 접촉하는 면이 오목하게 형성되며,상기 이송 대상물의 상측에서 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 상기 접촉부 사이의 공기가 제거되면서 흡착되는 이송장치용 흡착패드
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