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DLC 필름 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015203310
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요약 본 발명은, 증착대상물에 형성된 DLC 필름에 있어서, DLC성분의 프로파일 함수 CDLC 은, x 가 증가함에 따라서 그 함수값이 같거나 증가하는 증가함수이며, SUS 성분의 프로파일 함수 CSUS는 1-CDLC 인 DLC 필름을 제공한다.
Int. CL C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/28 (2006.01)
CPC C23C 14/14(2013.01) C23C 14/14(2013.01) C23C 14/14(2013.01) C23C 14/14(2013.01) C23C 14/14(2013.01)
출원번호/일자 1020140043734 (2014.04.11)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1608473-0000 (2016.03.28)
공개번호/일자 10-2015-0118265 (2015.10.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 기형선 대한민국 울산광역시 울주군
2 원유재 대한민국 부산광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0349160-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0074660-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0726761-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1252183-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1252165-57
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
8 등록결정서
Decision to grant
2016.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0074476-78
9 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2016.02.05 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-0129163-14
10 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0027012-63
11 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0028260-47
12 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2016.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0188137-54
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0322281-21
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
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DLC 성분과 스테인레스 스틸(SUS) 성분을 포함하는 DLC 필름을 증착대상물 상에 제조하는 DLC 필름 제조방법에 있어서, 그래파이트와 SUS 재질로 이루어진 복수개의 증착타겟재료에 레이저를 조사하여 원자증기를 생성하는 단계; 상기 그래파이트 및 SUS의 원자증기를 기판에 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 원자 증기를 기판에 증착시키는 경우, 상기 DLC성분과 SUS 성분은 다음 수학식 1을 만족하고, [수학식 1]T : DLC 필름 총 두께b : 필름의 총 두께 중 경사층의 비율로 0에서 1사이의 값을 가진다
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청구항 4에 있어서, 상기 복수개의 가변감쇄기들은, 상기 DLC성분과 SUS 성분이 상기 [수학식 1]을 만족하도록 상기 레이저 빔들의 출력을 제어하는 DLC 필름 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 T는 600nm 이고, [수학식 1]의 n은, DLC 필름에 요구되는 접착력에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 DLC 필름 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 레이저 출력 값을 결정하는 단계는,상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 레이저 출력의 세기에 따른 증착 데이터를 획득하는 단계와,상기 증착 데이터를 이용하여, 상기 증착률 결정단계에서 결정된 증착률과 대응하는 증착률을 갖는 레이저 출력 값을 산출하는 단계를 포함하는 DLC 필름 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 증착하는 단계는,상기 증착대상물을 회전시키는 단계를 포함하는 DLC 필름 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 신진연구 피코초 레이저 펄스 레이저 증착을 이용한 극한환경용 기능성 코팅제작기술