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핸들링 기판을 준비하는 핸들링 기판 준비 단계,상기 핸들링 기판 상에 희생층을 형성하는 희생층 형성 단계,상기 희생층 위에 소자를 제조하는 소자 제조 단계,상기 소자가 제조되고 희생층이 형성된 핸들링 기판에 제1 소재를 이용하여 상기 소자가 위치할 강성 기판을 패터닝하는 강성 기판 패터닝 단계,상기 강성 기판에 상기 소자를 위치시키고, 제2 소재를 상기 강성 기판 사이에 채우는 제2 소재 채움 단계, 및상기 희생층을 제거한 후 상기 핸들링 기판으로부터 상기 강성 기판과 소자를 분리하는 강성 기판과 소자 분리 단계를 포함하고, 상기 제1 소재는 SU-8, Ormocore, PI(Polyimide), glass 중에서 선택된 하나의 물질로 이루어지고,상기 제2 소재는 PDMS(Polydimethylsiloxane), 에코플렉스(Ecoflex), hydrogel(히드로겔), 고무소재 중에서 선택된 하나의 물질인 신축성 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 강성 기판 패터닝 단계는 상기 강성 기판을 소정의 패턴으로 분할하여, 상기 분할된 기판 사이 사이에 제2 소재가 채워지기 위한 공간부가 형성되는 공간부 형성 단계를 포함하는 신축성 기판의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 제2 소재 채움 단계는 상기 공간부에 제2 소재를 채운 후 상기 제2 소재를 경화시키는 제2 소재 경화 단계를 포함하는 신축성 기판의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 강성 기판과 소자 분리 단계는 상기 제2 소재가 채워진 강성 기판을 식각액에 침지하여 상기 핸들링 기판 상에 형성된 희생층을 에칭시키는 에칭 단계를 포함하는 신축성 기판의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 희생층은 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 레이저 리프트-오프(laser lift-off)용 폴리머, PVA(Polyvinyl Alcohol), 게르마늄(Ge), PMMA(polymethyl methacrylate) 중에서 선택된 하나의 물질로 이루어진 박막인 신축성 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 소재 채움 단계에서 제2 소재는 경화제와 일정한 비율로 혼합되는 신축성 기판의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 식각액은 Ni etchant, Cu etchant, Al etchant, laser, 물, 아세톤 중에서 선택되는 하나의 물질로 이루어지는 신축성 기판의 제조 방법
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제1항 내지 제5항, 제8항 및 제9항 중 어느 한 항의 신축성 기판의 제조 방법에 의하여 제조된 신축성 기판
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소정의 패터닝으로 패턴 형성됨과 아울러 소자가 위치하게 되고, 제1 소재로 이루어지는 강성 기판부, 및 상기 강성 기판부의 패턴 사이를 서로 연결시켜 주고, 제2 소재로 이루어지는 신축 기판부를 포함하고,상기 제1 소재는 SU-8, Ormocore, PI(Polyimide), glass 중에서 선택된 하나의 물질로 이루어지고,상기 제2 소재는 PDMS(Polydimethylsiloxane), 에코플렉스(Ecoflex), hydrogel(히드로겔), 고무소재 중에서 선택된 하나의 물질인 신축성 기판
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제11항에 있어서,상기 강성 기판부의 패턴 사이에는 제2 소재가 채워지기 위한 위한 공간부가 형성되는 신축성 기판
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제12항에 있어서,상기 강성 기판부 상에는 희생층을 이용하여 소자가 제조되고,상기 희생층은 소자가 상기 강성 기판부 위에 제조된 후 식각액에 의하여 제거되는 신축성 기판
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제13항에 있어서,상기 희생층은 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 레이저 리프트-오프(laser lift-off)용 폴리머, PVA(Polyvinyl Alcohol), 게르마늄(Ge), PMMA(polymethyl methacrylate) 중에서 선택된 하나의 물질로 이루어진 박막인 신축성 기판
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제11항에 있어서,상기 제2 소재는 경화제와 일정한 비율로 혼합되는 신축성 기판
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제13항에 있어서,상기 식각액은 Ni etchant, Cu etchant, Al etchant, laser, 물, 아세톤 중에서 선택되는 하나의 물질로 이루어지는 신축성 기판
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