| 1 |
1
흡습성 전구체 기화장치에 있어서, 직육면체 작업실(1)과, 상기 작업실내에 형성된 두 개의 고무장갑(2)과, 상기 작업실(1) 내부에 형성된 시료장입실(16)과, 상기 시료장입실(16)의 내부에 형성된 시료통(7)과, 상기 시료장입실(16)의 하부에 시료이송관(17)에 의해 연결되어 있으며 상기 작업실(1)외측 하부에 형성된 증발관(22)과, 상기 작업실(1)의 외측 또다른 하부 즉 증발관(22)과 일정간격을 두고 형성된 대기실(26)과, 상기 작업실(1)외측 상부에 형성되어 있고, 상기 시료장입실(16)의 시료통(7)과 시료지지줄(8)에 의해 연결되어 시료통(7)의 무게를 측정하는 로드셀 (13)과, 상기 시료통(7)에서 원료를 시료장입실(16)로부터 증발관(22)으로 이동시키는 주름관(9)과, 상기 주름관(9)의 상하왕복이동시 안내하는 주름관이동가이드 (11)와, 상기 로드셀(13)의 상부 일측에 형성된 가스주입구(12)와, 상기 작업실(1)의 상부 일측에 형성되어 있고, 일정간격을 두고 형성된 로드셀 (13)에 연결되어 있어 기화가 일어나는 동안 전구체의 무게를 실시간으로 표시하는 시료무게 지시계 (15)와, 상기 작업실(1)의 상부 또다른 일측에 형성되어 작업실(1)내부의 압력을 나타내는 압력계(5)로 구성되어 있음을 특징으로 하는 고체전구체 기화장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 시료장입실(16)은 작업실(1)내에 형성되어 있으며, 상기 시료장입실(16)과 작업실 (1)을 연결하는 통로는 시료장입구를 개폐하는 개폐뚜껑(6)과, 상기 시료장입실(16)의 내부에 안치되어 시료를 내장시켜 작업하는 시료통(7)과, 상기 시료통(7)의 상부와 시료장입실(16)상부를 관통하여 연결되어 로드셀(13)에 의해 무게를 측정하도록 하는 시료지지줄(8)과, 상기 시료장입실(16)의 하부로 증발관(22)과 연결되어 있으며, 분리, 연결될 수 있도록 중간에 형성된 클램프(18)와, 작업실(1)내 공기를 뽑아낼 때 증발관 (22)으로부터 가스의 유입을 차단하는 차단밸브(21)로 구성된 시료이송관(17)으로 구성되어 있음을 특징으로 하는 고체전구체 기화장치
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 로드셀(13)은 하부로 시료통 (7)과 시료 지지줄 (8)에 의해 연결되어 있으며, 측면에는 작업실(1)의 상부 일측에 형성된 시료무게지시계 (15)와 연결되어 있고, 상기 로드셀 (13)을 고정하며 로드셀(13)의 하부에 형성된 24cm x 24cm 사각형 로드셀 지지판(10)과, 상기 사각형 로드셀지지판(10)의 중앙상부에 형성되어 있으며 로드셀(13)을 보호하는 반구형의 로드셀 보호덮개(14)와, 상기 로드셀보호덮개 (14)의 일측에 형성되어 일정량의 가스가 주입되어 증발관 (22)에서 기화된 전구체 증기의 일부가 로드셀(13)쪽으로 확산되어 들어오는 것을 방지하는 가스 주입구 (12)와, 상기 로드셀지지판(10)의 하부 중앙부에 하부로 연장되어 형성된 주름관(9)과, 상기 주름관(9)의 외부에 형성되어 있으며, 주름관(9)의 신축 및 팽창에 의해 주름관(9) 및 로드셀지지판(10)의 상하 이동을 안내하는 4개의 주름관이동가이드(11)와, 상기 4개의 주름관 이동가이드(11)가 네 개의 모서리 일측에 형성된 통공(미도시)에 의해 관통되어 주름관이동가이드(11)에 의해 상하로 이동되는 로드셀지지판(10)으로 구성되어 있음을 특징으로 하는 고체전구체 기화장치
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 대기실(26)은 작업실(1)의 하부에 또다른 일측에 형성되어 있으며, 대기실(26) 측면에 형성된 시료병 투입구(4)와, 상기 시료병투입구 (4)의 반대쪽 측면에 형성된 아르곤 주입관(19)과, 상기 아르곤주입관(19)의 하부일측에 형성되어 있으며 일측은 진공펌프(미도시)에 연결되어 장치내를 진공상태를 유지하게 하는 진공펌프연결관(20)과, 상기 대기실(26)의 상부와 작업실(1)의 하부에 서로 연결 또는 차단시키는 덮개(3)로 구성되어 있음을 특징으로 하는 고체전구체 기화장치
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서, 상기 증발관(22)은 작업실(1)과 분리, 연결될 수 있도록 중간에 형성된 클램프(18)와, 작업실(1)내 공기를 뽑아낼 때 증발관 (22)으로부터 가스의 유입을 차단하는 차단밸브(21)로 구성된 시료이송관(17)에 의해 작업실(1)내의 시료장입실(16)과 연결되어 있으며, 상기 증발관(22)은 직경 3cm 길이 32cm 의 파이렉스 수평관이며 증발관(22)을 가열하도록 외부에 감겨진 가열테이프(미도시)와, 상기 증발관(22)의 일측에 시료통 가까운 곳에 기화 온도를 측정하기 위해 설치된 열전대 (23)로 구성되어 있음을 특징으로 하는 흡습성 고체전구체 기화장치
|
| 6 |
5
청구항 1에 있어서, 상기 증발관(22)은 작업실(1)과 분리, 연결될 수 있도록 중간에 형성된 클램프(18)와, 작업실(1)내 공기를 뽑아낼 때 증발관 (22)으로부터 가스의 유입을 차단하는 차단밸브(21)로 구성된 시료이송관(17)에 의해 작업실(1)내의 시료장입실(16)과 연결되어 있으며, 상기 증발관(22)은 직경 3cm 길이 32cm 의 파이렉스 수평관이며 증발관(22)을 가열하도록 외부에 감겨진 가열테이프(미도시)와, 상기 증발관(22)의 일측에 시료통 가까운 곳에 기화 온도를 측정하기 위해 설치된 열전대 (23)로 구성되어 있음을 특징으로 하는 흡습성 고체전구체 기화장치
|
