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초미립자의 표면 개질 시스템에 있어서, 적어도 2종류의 원료 가스를 미리 설정된 주기 내에서 교대로 공급해 주는 원료 가스 공급부; 그 내부에 표면 개질할 초미립자를 수용하고, 상기 원료 가스 공급부로부터 적어도 2종류의 원료 가스를 교대로 공급받아 초미립자의 표면에서 반응시켜서 표면을 개질시켜 주는 반응기를 포함하는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 원료 가스 공급부는 상기 반응기와 연결되어 원료 가스를 공급해 주는 적어도 2개의 원료 가스통, 상기 반응기와 연결되어, 상기 반응기의 내부 환경을 퍼지시켜 주기 위한 퍼지 가스를 공급해 주는 퍼지 가스통, 상기 퍼지 가스통과 반응기 사이에 연결되어 퍼지 가스의 공급량을 제어해 주는 가스 유량 제어기, 상기 원료 가스통과 반응기 사이에 연결되어 상기 원료 가스통에서 공급되는 원료 가스를 공급 또는 차단시켜 주는 적어도 2개의 제 1밸브, 상기 제 1밸브와 반응기 사이에 연결되어 원료 가스를 퍼지시켜 주는 진공 펌프, 상기 진공 펌프와 상기 제 1밸브 사이에 연결되어 개폐되는 적어도 2개의 제 2밸브, 상기 반응기 전단에 연결되어 원료 가스의 공급량을 조절할 수 있는 제 3밸브, 상기 제 3밸브와 각각의 제 1밸브 및 제 2밸브사이에 연결되는 적어도 2개의 제 4밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 2항에 있어서, 상기 적어도 2개의 원료 가스통에 의하여 각각 공급되는 원료 가스 중 하나는 금속 염화물, 금속 유기 화합물, 금속 요오드화물, 금속 황화물 중에서 선택된 적어도 어느 하나로 이루어지고, 원료 가스의 다른 하나는 산화제와 환원제, 질화제 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 반응기는 상기 원료 공급부로부터 공급되는 원료 가스를 유입시켜 주는 가스 유입관, 상기 가스 유입관을 통하여 유입된 원료 가스를 분사시켜 주는 분사기, 상기 분사기가 그 내부에 설치되고, 초미립자가 수용되어 공급받은 원료 가스를 이용하여 초미립자의 표면을 개질시켜 주는 반응 챔버, 상기 반응 챔버를 미리 설정된 회전 속도로 회전시켜 주는 회전부, 상기 반응 챔버를 회전 가능하게 결합되는 프리 챔버, 상기 프리 챔버에 연결되는 진공 처리 수단, 상기 반응 챔버 내의 온도를 미리 설정된 온도로 유지시켜 주는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 반응 챔버는 그 타단이 밑으로 경사지도록 이루어진 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 4항에 있어서, 상기 반응 챔버는 그 타단의 내주면에 설치되어 초미립자가 응집되는 것을 방지하기 위한 해리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 6항에 있어서, 상기 해리부는 상기 반응 챔버 내의 타단에 형성된 다수의 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 해리부는 초미립자와 충돌되어 분산시켜 주는 볼을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초미립자의 표면 개질 시스템
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