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기상중합으로 유-무기 하이브리드 전도성 박막을 제조하는 방법으로 아래의 두 가지 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 [1단계] 산화제, 용매로 구성된 산화제 용액을 제조하고 피착제에 코팅하여 균일한 층을 형성하는 단계
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제 1항에서 용매는 물 또는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 노말 부탄올, sec-부탄올, tert-부탄올과 같은 탄소수 1 내지 5인 알콜 또는 포름아마이드, N-메틸포름아마이드, N,N-디메틸포름아마이드와 같은 아마이드계 용매 또는 메틸 술폭사이드, 디메틸술폭사이드와 같은 술폭사이드계 용매로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 1종 이상의 용매 또는 혼합용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 공정
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제 1 항에서 산화제로는 철(III) 염이 사용될 수 있으며, 구체적으로는 염화철, 페릭 톨루엔술포네이트, 페릭도데실벤젠 술포네이트, 페릭 안트라퀴논술포네이트로 구성된 군에서 선택된 1종 이상의 화합물이 사용될 수 있으며 더욱 바람직하게는 페릭 톨루엔 술포네이트를 사용하는 것을 특징으로 하는 공정
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제 1항에서 피착제로는 고분자, 유리, 금속 재질의 기판이 모두 사용될 수 있으며, 구체적으로 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리이미드 필름, 폴리비닐클로라이드 필름, 폴리스티렌 필름, 유리 기판, ITO(Indium Tin Oxide) 코팅된 기판, 실리콘 단결정 기판이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 사용되는 것을 특징으로 하는 공정
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제 1 항에서 전도성 고분자 단량체는 아닐린 및 아닐린 유도체, 피롤 및 피롤 유도체, 또는 티오펜 및 그의 유도체로 이루어진 군에서 선택된 적어도 1종 이상의 단량체를 사용하는 것을 특징으로 하는 공정
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제 1 항에서 실리콘 전구체는 테트라에틸 오쏘실리케이트(Tetraethyl orthosilicate), 2-(3,4-에폭시시클릭헥실)-에틸트리메톡시실란(2-(3,4-epoxycyclohexyl)-ethyltrimethoxysilane), 메타크록시메틸트리메톡시실란(Methacryloxymethyltrimethoxysilane), 3-아미노프로필트리에톡시실란(3-aminopropyl-triethoxysilane), N(베타-아미노에틸) 감마-아미노프로필메틸디메톡시실란(N(-aminoethyl) aminopropylmethyldimethoxysilane), N1-[3-(트리메톡시실릴)-프로필] 디에틸렌트리아민(N1-[3-(tri-methoxysilyl)-propyl]diethylenetriamine), 3-(2-이미다올린-1-일)-프로필트리에톡시실란(3-(2-imidaolin-1-yl)propyltriethoxysilane), 디에톡시디메틸실란(Diethoxydimethylsilane)로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 1종 이상의 화합물을 사용하는 것을 특징으로 하는 공정
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제 1 항에서 기상중합 반응기는 플라스틱, 유리, 금속재질로 된 외부와 밀폐된 용기를 이용할 수 있으며 구체적으로는 기상중합을 하고자하는 전도성 고분자 단량체와 실리콘 전구체의 혼합물이 보관된 용기가 장착된 중합온도 및 중합압력 조절과 외부의 불활성 기체를 일정한 유량으로 주입할 수 있는 것을 특징으로 하는 공정
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제 7 항에서 불활성 기체의 주입 유량은 1L의 용량을 가지는 기상중합반응기 기준으로 10 ~ 10000 ml/min, 바람직하게는 100 ~ 1000 ml/min이 사용되는 것을 특징으로 하는 공정
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제 7 항에서 중합온도는 -10 도 ~ 150 도 영역에서 진행할 수 있으며, 바람직하게는 30 도 ~ 100 도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 공정
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제 7 항에서 중합시간은 5분에서 120분간 진행할 수 있고, 바람직하게는 10 분에서 60 분간 진행하는 것을 특징으로 하는 공정
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