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유기금속화합물 가스 공급 장치

  • 기술번호 : KST2015203618
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속화합물 가스 공급장치에 관한 것으로, 상세하게, 내부 수용 공간을 갖는 케이스; 상기 케이스의 내부 수용 공간에 위치하고, 고상의 유기금속화합물이 수용되며, 주름을 갖는 원료용기; 상기 원료용기로 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급관; 및 상기 원료용기에서 발생된 유기금속화합물 함유 가스가 배출되는 캐리어 가스 배출관;을 포함한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01)
출원번호/일자 1020130013366 (2013.02.06)
출원인 공주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1412507-0000 (2014.06.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140626) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진권 대한민국 충남 공주시 공주대학로
2 김진동 대한민국 대전광역시 유성구
3 임진묵 대한민국 충남 공주시 신금*길 **-*,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 충청남도 공주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-0111857-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0179919-26
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2013-5121903-91
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0081724-64
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0056730-80
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027196-68
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0281395-52
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0281328-14
10 등록결정서
Decision to grant
2014.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0409557-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부 수용 공간을 갖는 케이스; 상기 케이스의 내부 수용 공간에 위치하고, 고상의 유기금속화합물이 수용되며, 주름을 갖는 원료용기; 상기 원료용기로 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급관; 상기 원료용기에서 발생된 유기금속화합물 함유 가스가 배출되는 캐리어 가스 배출관;상기 케이스와 상기 원료용기 사이 공간이며, 상기 원료용기의 온도를 조절하는 열전달매체가 수용되는 열매체공간;기상 또는 액상인 상기 열전달매체를 상기 열매체공간에 각각 공급 및 배출하는 열매체 공급관과 열매체 배출관; 상기 캐리어 가스 및 상기 열전달매체의 각각의 공급여부 및 공급 유속을 제어하는 제어부; 및상기 원료용기 내부의 압력을 측정하여 상기 제어부에 측정값을 제공하는 제1압력측정수단과 상기 열매체공간의 압력을 측정하여 제어부에 측정값을 제공하는 제2압력측정수단;을 포함하며,상기 제어부는 상기 캐리어 가스의 공급이 중단될 때, 상기 열매체공간의 압력이 상기 원료용기 내부 압력보다 높도록 제어하는 유기금속화합물 가스 공급장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 원료용기는 공급되는 상기 캐리어 가스에 의해 상기 주름이 펼쳐짐으로써 팽창되고, 상기 캐리어 가스가 공급되지 않을 때 상기 열전달매체에 의해 수축되는 유기금속화합물 가스 공급장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 주름은 상기 원료 용기의 하부에서 상부로의 높이 방향을 따라 형성된 유기금속화합물 가스 공급장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 원료 용기는 일 단이 상기 캐리어 가스 공급관과 연결되고, 다른 일 단이 상기 캐리어 가스 배출관과 연결된 밀폐형 주름관인 유기금속화합물 가스 공급장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 캐리어 가스 배출관은 주름관인 유기금속화합물 가스 공급장치
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서,상기 원료 용기는 금속 또는 고분자인 유기금속화합물 가스 공급장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 공주대학교 산학협력선도대학(LINC) 육성사업 LED용 액체 인듐 MOCVD 전구체 개발