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태양전지용 ＣＩＧＳ 박막 제조장치

  • 기술번호 : KST2015203832
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지용 CIGS 박막 제조장치에 관한 것으로, 기판의 온도를 정확히 측정하기 위해 열전대를 기판에 접촉시킨 상태에서 박막의 제조가 이루어지도록 하는 것이다.본 발명은 진공증발 장치에서 점증발원에서 증발된 유기물질이 기판에 증착되게 하는 장치에 있어서, 수 개의 점증발원이 기판의 하부에서 원형을 이루도록 배치하되 중심에서 동일한 거리를 이격시켜 배치하고, 상기 점증발원에서 증발되는 유기물질은 기판을 향하여 증발이 이루어지도록 유기물질의 증발 방향을 조절하며, 상기 기판은 고정시킨 상태에서 수 개의 열전대를 기판에 접촉시켜 온도 조절이 이루어지게 함으로써 이루어지게 된다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020130020855 (2013.02.27)
출원인 공주대학교 산학협력단, 지제이엠 주식회사
등록번호/일자 10-1442787-0000 (2014.09.15)
공개번호/일자 10-2014-0109518 (2014.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20140924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시
2 지제이엠 주식회사 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이문용 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 김숙한 대한민국 경기 화성시
3 김옥환 대한민국 충청남도 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동모 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로***번길 ** 드림타운 ***호(둔산동)(이동모특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 충청남도 공주시
2 지제이엠 주식회사 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0174289-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2013-5121903-91
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027196-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0196932-45
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0469017-73
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0469032-58
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0599806-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.08.03 수리 (Accepted) 4-1-2015-0044766-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
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번호 청구항
1 1
점증발원(20)의 유기물질을 증발시켜 기판(10)에 증착시키는 진공증발 박막제조 장치에서,상기 기판(10)을 회전시키지 않는 상태에서 수 개의 열전대가 기판(10)의 전면적에 걸쳐 접촉되게 하여 기판(10)의 온도를 측정한 후 측정된 온도로 기판(10)의 온도를 균일하게 제어하고,상기 기판(10)의 하측으로 일정 거리(h)를 이격시켜 다수 개의 점증발원(20)을 원형으로 배치하되 상기 점증발원(20)은 기판(10)의 하측 중심에서 일정거리(q)를 이격시켜 원형으로 배치하며, 상기 점증발원(20)에서 증발되는 유기물질은 증발 방향을 조절하여 기판(10)을 향하여 전체적으로 증발되게 하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 CIGS 박막 제조장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 점증발원(20)의 배치숫자와 중심까지의 거리(q) 및 기판(10)까지의 거리(h)를 조절하여 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 CIGS 박막 제조장치
5 5
제1항에 있어서, 점증발원(20)은 다른 종류의 유기물질을 증발시키게 하되 서로 동일한 종류의 유기물질을 증발시키는 점증발원(20)(21)(22)(23)은 종류별로 동심원을 이루게 배치하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 CIGS 박막 제조장치
6 6
제1항에 있어서, 점증발원(20)은 다른 종류의 유기물질을 증발시키게 하되 점증발원(20)(21)(22)(23)은 동심원을 이루게 하고, 상기 점증발원(20)(21)(22)(23)은 동심원을 이루며 유기물질의 종류에 따라 교호로 배치되게 하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 CIGS 박막 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 공주대학교 산학협력 중점사업 대면적 플렉시블 태양전지(CIGS) 생산을 위한 리니어 셀소스 개발