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세라믹칩 성능검사기

  • 기술번호 : KST2015203845
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 세라믹칩의 전기적 특성을 측정할 수 있는 성능검사기에 관한 것으로, 특히 압전소자(PZT : piezoelectric transducer)로 구동되어지는 액츄에이터를 이용하며, PZT액츄에이터(5)에서 발생하는 미소 진동 변위를 지렛대(4)에 전달하여 증폭시킬 수 있도록, 접촉부위를 지렛대에 결합 할 수 있는 지렛대 부속(8)으로 구성하여 반도체칩의 전기적 특성을 검사할 수 있는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부인 지렛대(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성품들을 지지할 수 있는 지그상부(1)와 지그하부(7)로 구성된다.이와 같이, IT 제품의 핵심 전자부품 중 MLCC, 칩 인덕트, 칩 바리스터, 칩 저항 등의 전기적 특성을 검사하기 위해서는 고속으로 리노핀을 탐침하여 접촉 검사하는 바, 이에 필요한 PZT액츄에이터를 이용하여 세라믹칩의 전기적 특성을 측정할 수 있는 성능검사기로 개선된 것이다.
Int. CL H01L 21/66 (2014.01) G01R 31/26 (2014.01) H01L 29/92 (2014.01)
CPC G01R 31/2601(2013.01) G01R 31/2601(2013.01)
출원번호/일자 1020100055806 (2010.06.14)
출원인 공주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0136046 (2011.12.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성관 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 배진호 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 김용태 대한민국 충청남도 공주시

대리인

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0378476-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.10.29 수리 (Accepted) 4-1-2010-0017765-71
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0072495-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0557842-43
6 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2011.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0942595-44
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0744071-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2012-5012931-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2013-5121903-91
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027196-68
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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리노핀(3)의 탐침을 위해 진동변위를 주는 PZT액츄에이터(5)와 진동변위를 증폭시켜주는 기구부(4), 리노핀이 한점을 탐침할 수 있게 잡아주는 리노핀가이드(2)로 이루어져 세라믹칩의 전기적인 특성을 검사하는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성품들을 지지할 수 있는 지그상부(1)와 지그하부(7)로 이루어져 세라믹칩의 전기적 특성을 측정하는 성능검사기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 PZT액츄에이터(5)를 움직이게 하는 파형제어를 통한 구동 컨트롤러 및 소프트웨어
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.