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기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극 상에 근접 거리 증착 방법(CDS: Closed Spaced Deposition)으로 유기물층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 근접 거리 증착 방법(CDS: Closed Spaced Deposition)으로 유기물층을 형성하는 단계는,플레이트 상면에 액상의 원료 소스를 코팅하여 도포하는 단계;상기 기판과 원료 소스 증발원이 대향하도록 인접 배치시켜, 상기 기판과 플레이트의 이격 거리가 2mm 초과, 5mm 이하의 범위가 되도록 하는 단계;상기 플레이트를 가열하여 상기 플레이트 상에 도포된 유기물 원료 소스를 승화시켜, 상기 하부 전극 상에 유기물층을 형성하는 단계;상기 유기물층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 플레이트 상면에 액상의 원료 소스를 코팅하여 도포하는 단계에 있어서,상기 액상의 원료 소스를 스핀 코팅(spin coating) 방법으로 플레이트 상에 도포하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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청구항 1 또는 2에 있어서,상기 유기물층은 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 발광층(EML), 전자수송층(ETL) 및 정공저지층(HBL)을 포함하고, 상기 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 발광층(EML), 전자수송층(ETL) 및 전공저지층(HBL) 중 적어도 하나를 근접 거리 증착 방법(CDS: Closed Spaced Deposition)으로 증착하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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청구항 4에 있어서,상기 원료 소스는 Alq3를 포함하고, 상기 근접 거리 증착 방법(CDS: Closed Spaced Deposition)으로 상기 원료 소스를 승화시켜 전자수송층(ETL)을 증착하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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