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| 요약 |
본 발명은 초전도 전자석을 이용한 박막 증착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진공챔버와, 상기 진공챔버 내에 배치되어 글라스를 지지 고정하는 글라스프레임과, 상기 글라스프레임 하측에 설치되어 마스크를 지지하는 마스크프레임을 포함하여 상기 글라스에 소정 패턴의 박막을 증착하는 박막 증착장치에 있어서, 상기 마스크가 글라스의 저면에 밀착되도록 상기 마스크프레임을 자기력으로 부상시키는 제1 초전도 전자석과, 상기 마스크가 글라스 저면에 밀착된 상태에서 자기력으로 마스크의 패턴과 글라스의 패턴을 일치시키는 제2 초전도 전자석을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 초전도 전자석을 이용한 박막 증착장치는 기계적인 승강장치를 이용하는 대신 초전도 전자석의 자기력을 이용하여 마스크를 부상시키며, 그 과정에서 역시 초전도 전자석의 자기력을 이용하여 마스크의 패턴을 얼라인먼트하고, 마스크의 자중에 의한 처짐 현상을 방지함으로써 정밀한 증착작업을 할 수 있는 효과가 있다.초전도 전자석, 박막, 증착, 마스크, 마스크 처짐, 글라스
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| Int. CL |
H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 21/68 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01) C23C 14/04 (2006.01.01)
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| CPC |
H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01) H01L 51/0011(2013.01)
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| 출원번호/일자 |
1020050065552
(2005.07.20)
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| 출원인 |
순천향대학교 산학협력단, 임형우, 이희준, 차귀수
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| 등록번호/일자 |
10-0665524-0000
(2006.12.29)
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| 공개번호/일자 |
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| 공고번호/일자 |
(20070109)
문서열기
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
소멸 |
| 심사진행상태 |
수리 |
| 심판사항 |
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| 구분 |
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| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
Y
(2005.07.20)
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| 심사청구항수 |
6 |
