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나노입자가 부착된 탐침을 가지는 주사탐침 현미경 및 그 보정방법

  • 기술번호 : KST2015204661
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 주사탐침 현미경에 관한 발명이다. 본 발명의 주사탐침 현미경은, 시료가 고정되는 시료 고정대의 상부에 배치되는 캔틸레버 검출기; 상기 캔틸레버 검출기로 레이저빔을 조사하는 레이저 광원; 및 상기 캔틸레버 검출기의 탐침으로부터 반사된 레이저빔이 전달되는 단차 스캐너를 포함하며, 상기 캔틸레버 검출기의 탐침에는 상기 탐침과 상기 시료가 닿는 면적을 일정하게 보정할 수 있도록 나노입자(nanoparticle)가 부착되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01Q 40/02 (2010.01.01) G01Q 70/12 (2017.01.01)
CPC G01Q 40/02(2013.01) G01Q 40/02(2013.01) G01Q 40/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110045530 (2011.05.16)
출원인 명지대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0127807 (2012.11.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.16)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 명지대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강치중 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 이남주 대한민국 경기도 수원시 팔달구
3 최영진 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0358372-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0006342-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0103089-78
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0319321-85
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.05.14 무효 (Invalidation) 1-1-2013-0423231-36
7 보정요구서
Request for Amendment
2013.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0057729-13
8 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2013.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0072024-41
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0481312-21
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.17 수리 (Accepted) 4-1-2019-5194058-21
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5014795-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료가 고정되는 시료 고정대의 상부에 배치되는 캔틸레버 검출기;상기 캔틸레버 검출기로 레이저빔을 조사하는 레이저 광원; 및상기 캔틸레버 검출기의 탐침으로부터 반사된 레이저빔이 전달되는 단차 스캐너를 포함하며,상기 캔틸레버 검출기의 탐침에는 상기 탐침과 상기 시료가 닿는 면적을 일정하게 보정할 수 있도록 나노입자(nanoparticle)가 부착되는 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
2 2
청구항 1에 있어서,상기 나노입자는 금 나노입자인 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
3 3
청구항 2에 있어서,상기 금 나노입자는, 상기 탐침의 단부를 식각에 의해 가공한 후, 가공 표면에 부착되는 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
4 4
청구항 1에 있어서,상기 탐침의 탄성계수 측정을 위해 상기 캔틸레버 검출기에 이웃하게 배치되는 피에조레버(piezolever)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
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청구항 4에 있어서,상기 피에조레버에는 상기 탐침의 강성에 의해 상기 피에조레버가 휘는 정도를 저항값으로 구해내는 휘스톤 브릿지가 더 연결되는 것을 특징으로 하는 주사탐침 현미경
6 6
탐침에 나노입자를 부착하는 단계;상기 탐침의 강성에 의해 피에조레버가 휜 정도를 측정하는 단계를 포함하는 주사탐침 현미경의 보정방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 피에조레버의 휨을 휘스톤 브릿지의 저항값에 의해 측정하는 단계를 포함하는 주사탐침 현미경의 보정방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 휘스톤 브릿지의 저항값에 의해 탐침의 탄성계수를 구하여 보정하는 단계를 포함하는 주사탐침 현미경의 보정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 (주)나노포커스 산업원천기술개발사업 차세대 SPM 기반 융합장비 개발