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빛을 탐침과 시료 사이로 조사하는 광 조사단계; 및조사된 빛에 의해, 상기 탐침과 상기 시료 사이에서 나오는 회절패턴을 계산하여 상기 탐침과 상기 시료 간 거리를 측정하는 거리 측정단계를 포함하되, 상기 거리 측정단계는 상기 빛을 상기 탐침과 상기 시료 사이로 조사하여 나오는 회절패턴을 검출수단에 의해 검출하는 회절패턴 검출단계; 및 상기 회절패턴을 전기신호로 변환시키는 변환단계를 포함하고,상기 탐침과 상기 시료 간 거리측정은 상기 검출수단의 위치 보정을 통해 수행되되,상기 위치 보정은 액상의 굴절률에 대응하는 거리만큼 상기 검출수단의 위치를 이동함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 회절현상을 이용한 액상에서의 원자 현미경의 탐침과 시료 간 거리측정 방법
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청구항 1에 있어서,상기 거리 측정 단계는,상기 변환단계 후에, 상기 전기신호에 기초하여 상기 탐침과 상기 시료 간 거리를 계산하는 거리 산술단계를 포함하는 회절현상을 이용한 액상에서의 원자 현미경의 탐침과 시료 간 거리측정 방법
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청구항 1에 있어서,상기 검출수단이 포토다이오드, CCD, CMOS 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 회절현상을 이용한 액상에서의 원자 현미경의 탐침과 시료 간 거리측정 방법
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청구항 1에 있어서,상기 빛이 레이저인 것을 특징으로 하는 회절현상을 이용한 액상에서의 원자 현미경의 탐침과 시료 간 거리측정 방법
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원자현미경에 있어서, 시료와 탐침 사이에 빛을 조사하는 광원; 상기 시료와 탐침 사이를 통해 나오는 빛의 회절패턴을 검출하는 검출수단; 상기 회절패턴을 전기신호로 변환하는 변환수단;상기 변환수단에 의해 얻어진 전기신호로부터 상기 시료와 상기 탐침 사이의 거리를 계산하는 거리 산술수단;상기 시료의 굴절률을 측정하는 측정수단; 및상기 검출수단을 이동시키기 위한 이동수단을 포함하고,상기 거리 산술수단은 상기 빛을 상기 탐침과 상기 시료 사이로 조사하여 나오는 회절패턴을 검출수단에 의해 검출하는 회절패턴 검출단계; 및 상기 회절패턴을 전기신호로 변환시키는 변환단계에 의해 상기 거리를 계산하고,상기 탐침과 상기 시료 간 거리측정은 상기 검출수단의 위치 보정을 통해 수행되되,상기 위치 보정은 액상의 굴절률에 대응하는 거리만큼 상기 검출수단의 위치를 이동함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자현미경
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청구항 9에 있어서, 상기 광원이 레이저인 것을 특징으로 하는 원자현미경
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청구항 9에 있어서, 상기 검출수단이 포토다이오드, CCD, CMOS 중 하나인 것을 특징으로 하는 원자현미경
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