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하부를 형성하는 ITO 전극과, 상기 ITO 전극의 상부에 부착되고 상면에서 개별 세포가 배양되는 압전진동소자(PZT)를 구비하는 시료부;상기 시료부의 상부에 배치되며, 상기 시료부와의 미리 결정된 거리를 유지하는 탐침을 구비하는 캔틸레버 검출기; 및상기 탐침과 상기 시료부 사이에 상기 개별 세포의 천공을 위한 펄스를 인가하거나 상기 개별 세포에 대한 이미지 스캔을 위하여 진동파를 발생시키도록 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하며,상기 탐침의 단부 영역에 상기 진동파를 발생시키는 추가의 압전진동소자가 더 부착되는 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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청구항 1에 있어서,상기 압전진동소자의 외측에는 PDMS(polydimethylsiloane)가 마련되며,상기 PDMS의 내측에는 DNA 등을 함유한 버퍼액이 충전되는 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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청구항 1에 있어서,상기 탐침은 단부 영역 이외의 부위에 절연층이 코팅된 실리콘 탐침인 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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청구항 3에 있어서,상기 절연층은 실리콘나이트라이드 절연층인 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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청구항 1에 있어서,상기 탐침의 단부 영역은 전극 역할을 담당하는 백금 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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청구항 1에 있어서,상기 캔틸레버 검출기로 레이저빔을 조사하는 레이저 광원; 및상기 캔틸레버 검출기의 탐침으로부터 반사된 레이저빔이 전달되는 단차 스캐너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기천공 및 근접장 초음파 기법을 이용한 주사탐침 현미경 장치
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