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급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의제조방법

  • 기술번호 : KST2015204930
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, FePt 다층막을 제조하는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계 후 제조된 FePt 다층막에 대해 급속 열처리를 수행하는 제 2 단계;를 포함하여 구성함으로서, DC 스퍼터링으로 FePt 다층막을 제작한 후 급속 열처리를 수행하여 내부 결정구조의 응력을 유도하여 FePt 다층박막의 상변태를 가속화시킴으로써, 종래의 일반 열처리를 이용하여 다층막 사이의 확산효과를 통한 규칙화 상을 얻는 방법과 비교해 볼 때, 동일 막 두께, 동일 열처리 시간에서 현저히 높은 보자력을 갖는 박막을 제조할 수 있게 되는 것이다. 급속 열처리(RTA), 규칙화, FePt, 다층박막, 자기기록매체
Int. CL G11B 5/84 (2006.01)
CPC G11B 5/851(2013.01) G11B 5/851(2013.01) G11B 5/851(2013.01) G11B 5/851(2013.01)
출원번호/일자 1020080018274 (2008.02.28)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0092988 (2009.09.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이찬규 대한민국 경남 창원시
2 누엔 단 펑 베트남 경남 창원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0147236-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.12.08 수리 (Accepted) 9-1-2008-0080869-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0050649-87
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0201209-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0201210-10
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0326194-55
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2009.09.04 수리 (Accepted) 7-1-2009-0045799-47
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2011-5171493-09
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2011-5180260-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
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2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252038-71
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5259858-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
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2013.10.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5131005-95
14 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.04.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5044733-20
15 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5082716-34
16 출원인정보변경(경정)신고서
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2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013675-99
17 출원인정보변경(경정)신고서
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2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013674-43
18 출원인정보변경(경정)신고서
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2015.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5096974-14
19 출원인정보변경(경정)신고서
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2016.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2016-5164273-80
20 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.11.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5229792-25
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073723-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
FePt 다층막을 제조하는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계 후 제조된 FePt 다층막에 대해 급속 열처리를 수행하는 제 2 단계; 를 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 제 1 단계는, DC 스퍼터링에 의해 FePt 다층막을 제조하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 제 1 단계는, DC 스퍼터링 수행시 초기 진공도 1x10-8~5x10-8 torr에서 Ar 가스 주입 후 증착 시 진공도 3~10 mtorr에서 증착되도록 한 것을 특징으로 하는 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법
4 4
청구항 2에 있어서, 상기 제 1 단계는, DC 스퍼터링 수행시 박막 기판은 (100) 실리콘 기판을 사용한 것을 특징으로 하는 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법
5 5
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 2 단계는, 분당 15~25℃/s의 Heating rate로 열처리하고, 450~5500℃에서 미리 설정한 일정시간의 유지시간을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 급속 열처리를 이용한 규칙화된 FePt 다층박막의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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